[實用新型]氫氟酸原料室有效
| 申請號： | 201921637587.1 | 申請日： | 2019-09-29 |
| 公開（公告）號： | CN211037965U | 公開（公告）日： | 2020-07-17 |
| 發明（設計）人： | 童晨 | 申請（專利權）人： | 昆山晶科微電子材料有限公司 |
| 主分類號： | E04H1/12 | 分類號： | E04H1/12;G08B21/12;C02F1/66;C02F101/14 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215000 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 氫氟酸 原料 | ||
【權利要求書】：
1.氫氟酸原料室，其特征在于，包括倉儲間和排氣系統，所述倉儲間內設置有若干氫氟酸監測報警器，所述倉儲間的兩個相對的墻壁上各設置有一個進出口，在所述進出口的頂部設置有密封卷簾門，所述排氣系統的排氣管設置于倉儲間的屋頂中；所述倉儲間的地面中設置有一圈凹槽，所述凹槽的頂部設置有自動密封蓋板，所述凹槽內放置有若干石灰包；所述倉儲間墻壁的下半部設置有若干噴淋管。
2.根據權利要求1所述的氫氟酸原料室，其特征在于，所述倉儲間的墻壁中設置有觀察窗。
3.根據權利要求1所述的氫氟酸原料室，其特征在于，所述倉儲間的墻壁中設置有密封門。
4.根據權利要求1所述的氫氟酸原料室，其特征在于，所述凹槽內設置有提籃，所述石灰包置于所述提籃中。
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