[實(shí)用新型]基于平面螺型結(jié)的耐高壓元件

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921625029.3
• 申請(qǐng)日: 2019-09-25
• 公開（公告）號(hào): CN210467849U
• 公開（公告）日: 2020-05-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曲迪;明辰;白國(guó)人;王磊;李康;陳景春
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天津華慧芯科技集團(tuán)有限公司
• 主分類號(hào): H01L29/06
• 分類號(hào): H01L29/06;H01L21/265;H01L21/22
• 代理公司: 天津市鼎和專利商標(biāo)代理有限公司 12101
• 代理人: 蒙建軍

1.一種基于平面螺型結(jié)的耐高壓元件，其特征在于：至少包括：

單晶硅片(1013)，所述單晶硅片的厚度范圍是400um～600um；

位于單晶硅片(1013)上表面的第二導(dǎo)電類型輕摻層(1022)和第一絕緣層(1011)；所述第二導(dǎo)電類型輕摻層(1022)成螺旋結(jié)構(gòu)；所述第一絕緣層(1011)位于第二導(dǎo)電類型輕摻層(1022)的兩側(cè)；

位于第二導(dǎo)電類型輕摻層(1022)一端的第一導(dǎo)電類型重?fù)诫s層(1021)；

位于第二導(dǎo)電類型輕摻層(1022)另一端的第二導(dǎo)電類型重?fù)綄?1023)；

與所述第一導(dǎo)電類型重?fù)诫s層(1021)連通的第一電極；

與所述第二導(dǎo)電類型重?fù)綄?1023)連通的第二電極；所述第二導(dǎo)電類型輕摻層(1022)、第一絕緣層(1011)、第一導(dǎo)電類型重?fù)诫s層(1021)和第二導(dǎo)電類型重?fù)綄?1023)位于同一平面內(nèi)；所述第一電極垂直于上述平面；所述第二電極垂直于上述平面；

位于所述平面上的第二絕緣層(1012)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述基于平面螺型結(jié)的耐高壓元件，其特征在于：

上述第一導(dǎo)電類型重?fù)诫s層(1021)為P型或N型或肖特基金屬層。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述基于平面螺型結(jié)的耐高壓元件，其特征在于：

上述第二導(dǎo)電類型重?fù)綄?1023)為P型或N型或肖特基金屬層。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述基于平面螺型結(jié)的耐高壓元件，其特征在于：

所述第二導(dǎo)電類型輕摻層(1022)為P型或N型。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述基于平面螺型結(jié)的耐高壓元件，其特征在于：

上述第一電極和/或第二電極為Al或Ti或Ni或Ag或Cu或Au或W或多個(gè)組合。