[實用新型]半導(dǎo)體測試設(shè)備的擴展裝置以及利用其的系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921615165.4
• 申請日: 2019-09-26
• 公開（公告）號: CN211577949U
• 公開（公告）日: 2020-09-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 楊維平;顏寶泉
• 申請（專利權(quán)）人: 英特爾產(chǎn)品（成都）有限公司;英特爾公司
• 主分類號: G06T7/00
• 分類號: G06T7/00
• 代理公司: 北京永新同創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11376
• 代理人: 呂玥;馮園園

提供了一種半導(dǎo)體測試設(shè)備的擴展裝置，包括：分配器，其包括輸入端和第一輸出端，所述輸入端被連接到圖像采集裝置并且用于從所述圖像采集裝置接收所述半導(dǎo)體測試設(shè)備測試的電子部件的圖像，所述第一輸出端用于輸出接收到的圖像；圖像存儲器，其被連接到所述第一輸出端，用于存儲從所述第一輸出端輸出的圖像；以及評估裝置，其與所述圖像存儲器連接，用于針對所存儲的每幅圖像生成評分，所述評分指示在對應(yīng)的一幅圖像中的所述電子部件是否具有缺陷。該擴展裝置能夠連接到現(xiàn)有的半導(dǎo)體測試設(shè)備，以提供對現(xiàn)有的半導(dǎo)體測試設(shè)備的改進。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請涉及電子部件制造領(lǐng)域，尤其涉及電子部件的測試設(shè)備。

背景技術(shù)

諸如半導(dǎo)體芯片的電子部件的表面缺陷能夠?qū)е掳雽?dǎo)體器件的成品率下降、性能劣化等問題。因此，需要及時對半導(dǎo)體芯片上的缺陷進行檢測。這樣的檢測通常是由半導(dǎo)體測試設(shè)備在捕獲的半導(dǎo)體芯片圖像的基礎(chǔ)上完成的。

通常的現(xiàn)有半導(dǎo)體測試設(shè)備按照預(yù)定規(guī)則選擇性地存儲所捕獲的圖像以用于缺陷檢測。例如，在對一批半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)過程中，相機會不斷地拍攝大量圖像，針對每個個體芯片都可能產(chǎn)生一幅或多幅圖像。然后，僅存儲預(yù)定節(jié)點處的圖像，例如，在每生產(chǎn)10個芯片后才存儲一幅圖像。通常少于10％的圖像被存儲，而一些半導(dǎo)體測試設(shè)備甚至僅存儲3％左右的圖像。通過觀察所存儲的少量圖像，人工地進行缺陷的檢測。僅存儲部分圖像并且對存儲的部分圖像進行人工觀察，這可能降低早期檢測出缺陷的機會。

當前的一些新型半導(dǎo)體測試設(shè)備具有存儲100％圖像的能力，用戶能夠基于所存儲的100％圖像來觀察并檢測缺陷，以避免錯過能夠體現(xiàn)出缺陷的早期圖像，從而實現(xiàn)早期檢測。但這無疑是費時費力的。另外，對于已經(jīng)擁有僅存儲部分圖像的舊型半導(dǎo)體測試設(shè)備的用戶而言，無論是再購買該新型半導(dǎo)體測試設(shè)備還是請求該測試設(shè)備的供應(yīng)商對于其已經(jīng)擁有的舊型半導(dǎo)體測試設(shè)備進行硬件和軟件的升級改造，都增加了用戶的檢測成本。

發(fā)明內(nèi)容

期望提供低成本、高效并且能夠早期發(fā)現(xiàn)缺陷的電子部件檢測系統(tǒng)。

提供了一種半導(dǎo)體測試設(shè)備的擴展裝置，以及利用該擴展裝置的用于對電子部件進行測試的系統(tǒng)，其能夠低成本、高效并且早期發(fā)現(xiàn)電子部件中的缺陷。

根據(jù)本申請的一個實施例，提供了一種半導(dǎo)體測試設(shè)備的擴展裝置。所述擴展裝置包括：分配器，其包括輸入端和第一輸出端，所述輸入端被連接到圖像采集裝置并且用于從所述圖像采集裝置接收所述半導(dǎo)體測試設(shè)備測試的電子部件的圖像，所述第一輸出端用于輸出接收到的圖像；圖像存儲器，其被連接到所述第一輸出端，用于存儲從所述第一輸出端輸出的圖像；以及評估裝置，其與所述圖像存儲器連接，用于針對所存儲的每幅圖像生成評分，所述評分指示在對應(yīng)的一幅圖像中的所述電子部件是否具有缺陷。

根據(jù)本申請的另一個實施例，提供了一種用于對電子部件進行測試的系統(tǒng)。所述系統(tǒng)包括半導(dǎo)體測試設(shè)備；以及根據(jù)本申請的半導(dǎo)體測試設(shè)備的擴展裝置。

根據(jù)本申請的又一個實施例，提供了一種用于對電子部件進行測試的系統(tǒng)。所述系統(tǒng)包括半導(dǎo)體測試設(shè)備；以及所述半導(dǎo)體測設(shè)備的擴展裝置。所述擴展裝置與所述半導(dǎo)體測試設(shè)備連接，并且包括：分配器，其包括輸入端和第一輸出端，所述輸入端被連接到圖像采集裝置并且用于從所述圖像采集裝置接收所述半導(dǎo)體測試設(shè)備測試的電子部件的圖像，所述第一輸出端用于輸出接收到的圖像；以及圖像存儲器，其被連接到所述第一輸出端，用于存儲從所述第一輸出端輸出的圖像。