[實用新型]一種LPCVD雙層爐管結構

有效

• 申請號: 201921614657.1
• 申請日: 2019-09-26
• 公開（公告）號: CN211595791U
• 公開（公告）日: 2020-09-29
• 發明（設計）人: 邵玉林;陶俊;張三洋
• 申請（專利權）人: 無錫琨圣科技有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

1.一種LPCVD雙層爐管結構，包括雙層爐管，所述雙層爐管包括有石英內管、石英外管、爐門、內管法蘭、外管法蘭、管內支撐裝置、密封圈，其特征在于，石英內管作為工藝管，石英外管作為真空密封管，管內支撐裝置包括有支撐塊，所述支撐塊設置在石英內管與石英外管之間，石英外管通過外管法蘭與加熱爐腔固定在一起，內管法蘭、外管法蘭均加工有密封墊和密封圈凹槽，兩個法蘭銜接處通過密封圈進行密封，爐門包括有前爐門、后爐門，前爐門為圓形實心結構，表面平整，后爐門采用開孔，槳可配合后爐門開孔插入石英內管。

2.根據權利要求1所述的一種LPCVD雙層爐管結構，其特征在于，所述支撐塊采用與石英內管外壁相同的弧度結構耐高溫支撐塊，支撐塊主體表面包覆一層柔性聚四氟乙烯緩沖墊。

3.根據權利要求1所述的一種LPCVD雙層爐管結構，其特征在于，所述內管法蘭四周均勻分布大小一致的圓形出氣孔。

4.根據權利要求1所述的一種LPCVD雙層爐管結構，其特征在于，所述密封圈所用材質為耐高溫的聚四氟乙烯材料。

5.根據權利要求1所述的一種LPCVD雙層爐管結構，其特征在于，所述石英內管長度大于石英外管長度并通過內管法蘭固定在石英外管內側。

6.根據權利要求1所述的一種LPCVD雙層爐管結構，其特征在于，所述槳垂直插入后爐門開口孔處。