[實用新型]一種用于納米壓入實驗的掃描電鏡樣品臺固定裝置

有效

• 申請號: 201921610291.0
• 申請日: 2019-09-26
• 公開（公告）號: CN211292656U
• 公開（公告）日: 2020-08-18
• 發明（設計）人: 彭光健;竇貴靖;孫義恒;趙城城;陳建鋒;張泰華
• 申請（專利權）人: 浙江工業大學
• 主分類號: G01N23/2204
• 分類號: G01N23/2204
• 代理公司: 杭州斯可睿專利事務所有限公司 33241
• 代理人: 王利強

一種用于納米壓入實驗的掃描電鏡樣品臺固定裝置，包括壓入試驗臺、滾花螺釘、彈性壓片夾和掃描電鏡樣品臺，所述掃描電鏡樣品臺下方立柱與壓入試驗臺中心圓孔配合，通過彈性壓片夾上半圓形的凹槽對掃描電鏡樣品臺施加壓緊力，滾花螺釘控制彈性壓片夾的壓緊力，從而便于掃描電鏡樣品臺的夾緊與拆卸。本實用新型通過掃描電鏡樣品臺這個中間平臺，將樣品的固定轉移改為掃描電鏡樣品臺的夾緊移動，通過壓入試驗臺上的夾片和滾花螺釘對樣品臺夾緊，提高了從力學性能檢測到破壞形貌觀測的快速性、穩定性和準確性。

技術領域

本實用新型涉及一種用于納米壓入實驗的掃描電鏡樣品臺固定裝置，屬于力學性能檢測及觀測領域。

背景技術

對微小試樣進行微納米壓入檢測后，需要對試樣的破壞形貌進行觀察，但由于試樣尺寸微小，往往需要在其它觀測儀器上進行，如掃描電鏡(SEM)。從力學性能檢測到形貌檢測的過程中，不可避免地需要將變形的試樣從壓入實驗臺收集并轉移到觀測實驗臺。在這個過程中試樣在外界力的干擾下可能會產生新的變形；而且由于樣品體積微小，在一次壓入實驗中，只是對壓入實驗臺上的個別樣品進行壓入實驗，在隨后收集過程中壓入樣品與未壓入樣品及易發生混淆，在電鏡觀測中很難找到對應的壓入樣品。即使觀測到壓入樣品，由于樣品在壓入試驗臺與在觀測樣品臺上的姿態不同，不能準確觀測壓入破壞表面。更有甚者還會再收集轉移過程中發生樣品遺失。

針對以上問題，為避免直接將樣品從壓入實驗臺轉移到觀測試驗臺，現采用將掃描電鏡樣品臺固定到壓入實驗臺，進行壓入檢測后，直接將SEM樣品臺及其上面的樣品整體轉移到掃描電鏡試驗臺上檢測的方法。掃描樣品臺在壓入試驗臺上固定需滿足兩個前提：一保證不影響壓入檢測的精度；二方便快速固定和拆卸掃描樣品臺。

因此有必要設計一種用于納米壓入實驗的掃描電鏡樣品臺固定裝置。

發明內容

為了解決微小試樣在微納米壓入力學檢測后不易進行準確的試樣破壞形貌觀測的不足，本實用新型提供一種掃描電鏡樣品臺在微納米壓入中的夾緊裝置，通過掃描電鏡樣品臺這個中間平臺，將樣品的固定轉移改為樣品臺的夾緊移動，通過壓入試驗臺上的夾片和滾花螺釘對樣品臺夾緊，提高了從力學性能檢測到破壞形貌觀測的快速性、穩定性和準確性。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：

一種用于納米壓入實驗的掃描電鏡樣品臺固定裝置，包括壓入試驗臺、滾花螺釘、彈性壓片夾和掃描電鏡樣品臺，所述掃描電鏡樣品臺下方立柱與壓入試驗臺中心圓孔配合，通過彈性壓片夾上半圓形的凹槽對掃描電鏡樣品臺施加壓緊力，滾花螺釘控制彈性壓片夾的壓緊力，從而便于掃描電鏡樣品臺的夾緊與拆卸。

進一步，所述掃描樣品臺底面與壓入試驗臺接觸，使得待測樣品處于壓入試驗臺的中心，便于后續壓入試驗標定與壓入。

再進一步，所述彈性壓片夾半圓形凹槽與掃描電鏡樣品臺邊緣貼合，通過夾片夾的彈性力使樣品臺與試驗臺緊密接觸，避免壓入過程產生誤差，配合試驗臺中心孔約束樣品臺所有方向的自由度。

更進一步，所述滾花螺釘通過旋松與旋緊控制彈性夾片夾的固定與放松，進而實現掃描電鏡樣品臺的固定與拆卸，實現簡便快速的夾緊。

所述滾花螺釘位于調整墊片上，所述調整墊片用于調節彈性壓片夾的壓緊高度，提高裝置對樣品臺的適應性和整個裝置的準確性。

本實用新型中，在微納米壓入實驗中，將帶觀測樣品置于掃描電鏡樣品臺上，樣品臺置于試驗臺中心，對樣品臺上的試樣進行壓入實驗。待壓入完成后取出樣品臺放入樣品盒，進行下一步的破壞形貌觀測。

本實用新型的有益效果主要表現在：在傳統樣品置于壓入實驗平臺檢測、收集后再置于觀測平臺觀測的基礎上，通過掃描電鏡樣品臺這個中間平臺，將樣品的固定轉移改為樣品臺的夾緊移動，通過壓入試驗臺上的夾片和滾花螺釘對樣品臺夾緊，提高了從力學性能檢測到破壞形貌觀測的快速性、穩定性和準確性。