[實用新型]一種集成稱重系統的硅片清洗設備有效
| 申請號： | 201921601150.2 | 申請日： | 2019-09-27 |
| 公開（公告）號： | CN211679210U | 公開（公告）日： | 2020-10-16 |
| 發明（設計）人： | 王駿明;黃飛;胡政春;楊偉;于果 | 申請（專利權）人： | 無錫市瑞能科技有限公司 |
| 主分類號： | B08B13/00 | 分類號： | B08B13/00;G01G19/52 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 214233 江蘇省無*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 集成 稱重 系統 硅片 清洗 設備 | ||
1.一種集成稱重系統的硅片清洗設備，包括：帶稱重的上料臺(1)、清洗機本體機臺(2)、帶稱重的下料臺(3),其特征在于：帶稱重的上料臺(1)包括：上料臺型材框架(4)、花籃上料工位(5)、上料臺花籃傳動系統(6)、上料臺花籃稱重工位(7)、上料臺花籃提取工位(8)、上料臺底部配重(9)、上料臺底座接液盤(10)；清洗機本體機臺(2)包括：框架本體(11)、機械臂傳送花籃裝置(12)、清洗機底座接液盤(13)；帶稱重的下料臺(3)包括：下料臺花籃提取工位(14)、下料臺花籃稱重工位(15)、下料臺花籃傳動系統(16)、花籃下料工位(17)、下料臺型材框架(18)、下料臺底部配重(19)、下料臺底座接液盤(20)。
2.如權利要求1所述的一種集成稱重系統的硅片清洗設備，其特征在于：上料臺花籃稱重工位(7)包括：花籃托板(21)、花籃托板和稱重模塊連接板(22)、無線稱重模塊(23)、稱重模塊安裝板(24)、稱重模塊與料臺連接板(25)。
3.如權利要求1所述的一種集成稱重系統的硅片清洗設備，其特征在于：下料臺花籃稱重工位(15)包括：花籃托板(21)、花籃托板和稱重模塊連接板(22)、無線稱重模塊(23)、稱重模塊安裝板(24)、稱重模塊與料臺連接板(25)。
4.如權利要求1所述的一種集成稱重系統的硅片清洗設備，其特征在于：上料臺花籃稱重工位(7)與下料臺花籃稱重工位(15)結構完全一致。
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