[實用新型]一種無變壓器的PECVD的電加熱爐體

有效

• 申請號: 201921594580.6
• 申請日: 2019-09-24
• 公開（公告）號: CN210529057U
• 公開（公告）日: 2020-05-15
• 發明（設計）人: 朱輝;朱曉明;鄭浩;吳得軼;龍會躍
• 申請（專利權）人: 湖南紅太陽光電科技有限公司
• 主分類號: C23C16/50
• 分類號: C23C16/50;H01L31/18
• 代理公司: 湖南兆弘專利事務所(普通合伙) 43008
• 代理人: 周長清;戴玲

1.一種無變壓器的PECVD的電加熱爐體，其特征在于：包括爐殼(1)和爐絲組件，所述爐絲組件包括至少一個主控段爐絲(2)和兩個附控段爐絲(3)，所述主控段爐絲(2)和兩個附控段爐絲(3)相互獨立，各主控段爐絲(2)設于兩個附控段爐絲(3)的中間，每個主控段爐絲(2)對應設有一對接線結構(4)，每個附控段爐絲(3)對應設有一對接線結構(4)，各對接線結構(4)設于爐殼(1)上。

2.根據權利要求1所述的無變壓器的PECVD的電加熱爐體，其特征在于：各對接線結構(4)呈直線分布，所述爐殼(1)上設有用于保護接線結構(4)的安全罩(5)。

3.根據權利要求1所述的無變壓器的PECVD的電加熱爐體，其特征在于：所述主控段爐絲(2)的直徑大于附控段爐絲(3)的直徑。

4.根據權利要求3所述的無變壓器的PECVD的電加熱爐體，其特征在于：所述主控段爐絲(2)的軸向長度大于附控段爐絲(3)的軸向長度。

5.根據權利要求1至4任意一項所述的無變壓器的PECVD的電加熱爐體，其特征在于：各對接線結構(4)中，正極的接線結構(4)通過一根正極導線(6)連接，負極的接線結構(4)通過一個負極導線(7)連接。

6.根據權利要求1至4任意一項所述的無變壓器的PECVD的電加熱爐體，其特征在于：所述接線結構(4)包括引線排(41)和L形鋁件(42)，所述L形鋁件(42)固定在爐殼(1)外，所述引線排(41)一端與主控段爐絲(2)或附控段爐絲(3)的一端連接，另一端伸出爐殼(1)與L形鋁件(42)連接，所述引線排(41)與爐殼(1)之間通過瓷座與爐殼(1)絕緣。

7.根據權利要求1至4任意一項所述的無變壓器的PECVD的電加熱爐體，其特征在于：所述爐殼(1)與爐絲組件之間設有保溫層(8)。

8.根據權利要求1至4任意一項所述的無變壓器的PECVD的電加熱爐體，其特征在于：所述電加熱爐體配設有一安放架(9)，所述安放架(9)設有可防止電加熱爐體滾動的安裝凹槽(91)。

9.根據權利要求8所述的無變壓器的PECVD的電加熱爐體，其特征在于：所述安裝凹槽(91)內設有避免爐體硬接觸的防護海綿。