[實用新型]浸液顯微鏡物鏡

有效

• 申請號: 201921589927.8
• 申請日: 2019-09-23
• 公開（公告）號: CN210376860U
• 公開（公告）日: 2020-04-21
• 發明（設計）人: 末永豊;趙躍東
• 申請（專利權）人: 南京東利來光電實業有限責任公司
• 主分類號: G02B21/02
• 分類號: G02B21/02;G02B13/00
• 代理公司: 南京科闊知識產權代理事務所(普通合伙) 32400
• 代理人: 王清義

本專利提供了在大數值孔徑下，擁有從中心到邊緣的全部為鮮銳的畫面圖像的復消色差浸液顯微鏡物鏡。其結構從物方OBJ側開始依次排序如下：整體具有正折射力、由2枚以上的透鏡構成的第1透鏡組；整體有正折射力，包括3組膠合透鏡，且由7枚以上的透鏡構成的第2透鏡組；由2枚以上的透鏡構成的第3透鏡組；具有負折射力的第4透鏡組；以及2枚以上的透鏡構成，射出平行光束的第5透鏡組。前述第3透鏡組或前述第5透鏡組中的任一個透鏡組由3枚以上的透鏡構成。第3透鏡組中有設置凸面朝向所述物方側的膠合面，在第5透鏡組中有設置凹面朝向所述物方側的膠合面，設最大像高為Ih，設透鏡的最大有效半徑為RDmax，滿足0.35＜Ih/RDmax＜2.2。

技術領域

本專利涉及一種顯微鏡物鏡系統，尤其是從10到20倍倍率的無限遠系統浸液顯微鏡物鏡。

背景技術

物鏡是整個顯微鏡的核心部件。在顯微鏡物鏡系統中，特別是浸液顯微鏡物鏡，在大數值孔徑下，畫面的中心部分及其附近能得到鮮明的圖像,不過，從畫面的中間到邊緣區域，變成了不鮮明的圖像。

發明內容

本專利提供了在大數值孔徑下，擁有從中心到邊緣的全部為鮮銳的畫面圖像的復消色差浸液顯微鏡物鏡。

本專利所采用的技術方案是：

為了實現上述目的，本專利浸液顯微鏡物鏡的初始結構從物方OBJ側開始依次排序如下：整體具有正折射力、由2枚以上的透鏡構成的第1透鏡組G1；整體有正折射力，包括3組膠合透鏡，并且由7枚以上的透鏡構成的第2透鏡組G2；由2枚以上的透鏡構成的第3透鏡組G3；具有負折射力的第4透鏡組G4；以及2枚以上的透鏡構成，射出平行光束的第5透鏡組G5。前述第3透鏡組G3或前述第5透鏡組G5中的任一個透鏡組由3 枚以上的透鏡構成。第3透鏡組G3中有設置凸面朝向所述物方側的膠合面C2，在第5透鏡組G5中有設置凹面朝向所述物方側的膠合面C1，設最大像高為Ih，設透鏡的最大有效半徑為RDmax，應滿足以下條件(1)。

0.35＜Ih/RDmax＜2.2 (1)

所謂浸液顯微鏡物鏡，是指在上述物方OBJ和上述第1透鏡組G1之間用液體充滿的顯微鏡物鏡。

條件(1)是特別規定物鏡的合適尺寸的條件。條件(1)若低于下限，則鏡頭直徑過大，難以適應實際裝置，故不理想。當超過條件(1)的上限時，鏡頭直徑變得過小，像差修正變得困難，所以也不理想。此外，如果將下限值設為0.45則獲得更好的結果，設為0.47則得到非常好的結果。

另外，最大像高是上述物方OBJ的最大物方高乘以顯微鏡的倍率的值，鏡頭的最大有效半徑是與成像相關的光束最寬時，鏡頭的半徑。

在本實施形態中，第5透鏡組G5變成可以射出平行光束。根據這個，安裝在各種各樣的顯微鏡上變得可能，浸液顯微鏡物鏡的通用性增加。

上述第4透鏡組G4與上述第3透鏡組G3相鄰地配置，上述第5透鏡組G5與上述第 4透鏡組G4相鄰地配置是合適的。

在上述第5透鏡組G5中設置的上述凹面朝向物方OBJ側的膠合面設為第1膠合面C1時，該第1膠合面C1的折射力為正，上述第1膠合面C1兩側的介質的折射率分別設為 n6、n7，將上述第1膠合面C1的曲率半徑設為R1，將顯微鏡物鏡全系的焦距設為f時，滿足以下條件(2)。

0.07|(n6－n7)×f/R1|1.2 (2)

該條件是用于良好地修正子午方向的色慧差的條件。另外，在本說明書中，色慧差意味著可見光域中的各波長的慧差的差異。如果超過該條件(2)的上限，透鏡的形狀會成為不利于制造的形狀，所以不理想。另外，若低于該條件(2)的下限，則難以校正子午方向的色慧差，因此也不合適。