[實(shí)用新型]一種酸性蝕刻液回收系統(tǒng)的氯氣處理設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921572125.6
• 申請(qǐng)日: 2019-09-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN210699459U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-06-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 羅歡
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海八菱環(huán)保科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B01D53/18
• 分類(lèi)號(hào): B01D53/18;B01D53/14;B01D53/78;B01D53/68;C23F1/46
• 代理公司: 北京權(quán)智天下知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11638
• 代理人: 李海燕

1.酸性蝕刻液回收系統(tǒng)的氯氣處理設(shè)備，其特征在于，包括：溶解吸收缸(1)、氯化亞鐵吸收裝置(2)、液堿洗滌塔(3)、氯氣管道(6)、第一射流器(7)、第一氣體管道(9)、第二氣體管道(10)；

其中，所述溶解吸收缸(1)用于存放酸性蝕刻液，第一射流器(7)插入到溶解吸收缸(1)的內(nèi)部，所述氯氣管道(6)連接第一射流器的注氣口；第一射流器(7)的注液口設(shè)置有液體管道，液體管道均設(shè)置有泵、且均與溶解吸收缸(1)底部的出液口連接；

所述溶解吸收缸(1)與氯化亞鐵吸收裝置(2)通過(guò)第一氣體管道(9)連接；

其中，氯化亞鐵吸收裝置(2)包括：下部的第一回收槽(2-1)、以及上部的第一噴淋吸收槽(2-2)；所述上部的第一噴淋吸收槽(2-2)為至少1層；第一噴淋吸收槽(2-2)包括：第一噴淋吸收槽頂部的噴頭(2-2-1)、第一噴淋吸收槽下部的散體填充物(2-2-2)；在氯化亞鐵吸收裝置的最頂層的第一噴淋吸收槽的頂部設(shè)置有出氣口，其與第二氣體管道(10)連接；氯化亞鐵吸收裝置(2)的內(nèi)部各層槽體之間空氣連通；

第二氣體管道將氯化亞鐵吸收裝置(2)與液堿洗滌塔(3)連接；

其中，液堿洗滌塔(3)包括：下部的第二回收槽(3-1)、以及上部的第二噴淋吸收槽(3-2)；所述上部的第二噴淋吸收槽(3-2)為至少1層；第二噴淋吸收槽(3-2)包括：第二噴淋吸收槽頂部的噴頭、第二噴淋吸收槽下部的散體填充物；在最頂層的第二噴淋吸收槽的頂部設(shè)置有出氣口，用于排放廢氣。

2.如權(quán)利要求1所述的酸性蝕刻液回收系統(tǒng)的氯氣處理設(shè)備，其特征在于，在第一氣體管道(9)、第二氣體管道(10)中均設(shè)置有抽氣裝置。

3.如權(quán)利要求1所述的酸性蝕刻液回收系統(tǒng)的氯氣處理設(shè)備，其特征在于，還包括：氯化亞鐵再生裝置(4)、真空揮發(fā)裝置(5)、第二射流器(14)；

其中，第二射流器(14)插入到溶解吸收缸(1)的內(nèi)部，第二射流器(14)的注液口設(shè)置有液體管道，液體管道均設(shè)置有泵、且均與溶解吸收缸(1)底部的出液口連接；

其中，氯化亞鐵再生裝置(4)包括：氯化亞鐵再生裝置殼體(4-1)、陽(yáng)離子膜(4-2)、陰極板(4-3)、陽(yáng)極板(4-4)；陽(yáng)離子膜(4-2)將氯化亞鐵再生裝置殼體(4-1)分為陰極室和陽(yáng)極室；在陰極室設(shè)置有陰極板(4-3)，在陽(yáng)極室設(shè)置有陽(yáng)極板(4-4)，陰極板、陽(yáng)極板與電源的負(fù)極、正極連接；所述陰極室用于盛放氯化鐵和氯化亞鐵混合溶液；所述陽(yáng)極室用于盛放硫酸溶液；

其中，真空揮發(fā)裝置(5)包括：下部的第三回收槽(5-1)、以及上部的第三噴淋吸收槽(5-2)；所述上部的第三噴淋吸收槽(5-2)為至少1層；第三噴淋吸收槽(5-2)包括：第三噴淋吸收槽頂部的噴頭、第三噴淋吸收槽下部的散體填充物；噴頭噴射下部第三回收槽(5-1)中的溶液；

其中，氯化亞鐵吸收裝置(2)的下部第一回收槽(2-1)與氯化亞鐵再生裝置(4)的陰極室之間設(shè)置有管道連接，以將氯化亞鐵吸收裝置(2)的溶液運(yùn)送到氯化亞鐵再生裝置(4)的陰極室中；

其中，所述氯化亞鐵再生裝置(4)的陰極室通過(guò)管道與真空揮發(fā)裝置(5)的下部的第三回收槽連接；

其中，在真空揮發(fā)裝置(5)的最頂層的第三噴淋吸收槽設(shè)置有出氣口、且出氣口連接有管道，然后與第二射流器的進(jìn)氣口連接；

真空揮發(fā)裝置(5)下部的第三回收槽(5-1)還設(shè)置有管道以及泵，將下部的第三回收槽(5-1)的溶液送到氯化亞鐵吸收裝置(2)的下部的第一回收槽(2-1)中。

4.如權(quán)利要求3所述的酸性蝕刻液回收系統(tǒng)的氯氣處理設(shè)備，其特征在于，所述真空揮發(fā)裝置(5)的上部的第三噴淋吸收槽(5-2)的噴頭與下部的第三回收槽(5-1)之間通過(guò)泵、管道連通。

5.如權(quán)利要求1至4任意一項(xiàng)所述的酸性蝕刻液回收系統(tǒng)的氯氣處理設(shè)備，其特征在于，在溶解吸收缸(1)的底部設(shè)置有出液口以及出液管道，出液管道將酸性蝕刻液返回到蝕刻生產(chǎn)線(xiàn)。

6.如權(quán)利要求1所述的酸性蝕刻液回收系統(tǒng)的氯氣處理設(shè)備，其特征在于，陰極板(4-3)采用鈦合金板，陽(yáng)極板(4-4)采用稀有金屬涂層鈦板。

7.如權(quán)利要求1所述的酸性蝕刻液回收系統(tǒng)的氯氣處理設(shè)備，其特征在于，還包括：控制器(17)、氯氣濃度傳感器(18)、氯化亞鐵再生裝置電源模塊(19)、氯化亞鐵吸收裝置噴頭調(diào)速模塊(20)、真空揮發(fā)裝置噴頭調(diào)速模塊(21)；

氯氣濃度傳感器(18)的輸出端與控制器(17)的輸入端連接；

控制器(17)的輸出端與氯化亞鐵再生裝置電源模塊(19)、氯化亞鐵吸收裝置噴頭調(diào)速模塊(20)、真空揮發(fā)裝置噴頭調(diào)速模塊(21)的輸出端連接；

所述氯氣濃度傳感器(18)用于檢測(cè)氯氣濃度的大小；

所述氯化亞鐵再生裝置電源模塊(19)用于控制氯化亞鐵再生裝置陰極板與陽(yáng)極板電流的大小；

所述氯化亞鐵吸收裝置噴頭調(diào)速模塊(20)用于控制氯化亞鐵吸收裝置的第一噴淋吸收槽的噴頭的噴速大小；

所述真空揮發(fā)裝置噴頭調(diào)速模塊(21)用于控制真空揮發(fā)裝置的第三噴淋吸收槽的噴頭的噴速大小。