[實(shí)用新型]一種用于管式PECVD設(shè)備的石墨舟電極對(duì)接裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921567753.5
• 申請(qǐng)日: 2019-09-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN210796616U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-06-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王玉明;程海良;閆寶潔;曾俞衡;陳暉;謝利華;李旺鵬
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 蘇州拓升智能裝備有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C16/50
• 分類(lèi)號(hào): C23C16/50;H01L21/673
• 代理公司: 北京遠(yuǎn)大卓悅知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11369
• 代理人: 韓飛

1.一種用于管式PECVD設(shè)備的石墨舟電極對(duì)接裝置，所述管式PECVD設(shè)備包括：

管狀的真空反應(yīng)爐(2)，其內(nèi)部中空并且兩端敞開(kāi)形成左敞口及右敞口；

兩個(gè)爐蓋(1)，分別連接到所述真空反應(yīng)爐(2)的端部以對(duì)所述左敞口及右敞口進(jìn)行封閉；以及

絕緣支撐架(6)，其固定安裝于所述真空反應(yīng)爐(2)內(nèi)，用于承托石墨舟(7)，

其特征在于，所述石墨舟電極對(duì)接裝置包括：

長(zhǎng)直狀的電極桿(3)，其由剛性導(dǎo)電材料制成；以及

分別連接于所述電極桿(3)兩端的接電固定組件(5)及電極頭(4)，

其中，所述接電固定組件(5)由剛性絕緣材料制成，所述接電固定組件(5)安裝于爐蓋(1)的外側(cè)，從所述接電固定組件(5)引出的電極桿(3)穿過(guò)所述爐蓋(1)后沿著所述真空反應(yīng)爐(2)的軸線方向延伸至所述真空反應(yīng)爐(2)的內(nèi)部。

2.如權(quán)利要求1所述的用于管式PECVD設(shè)備的石墨舟電極對(duì)接裝置，其特征在于，所述電極桿(3)由310S號(hào)不銹鋼材料制成。

3.如權(quán)利要求1所述的用于管式PECVD設(shè)備的石墨舟電極對(duì)接裝置，其特征在于，所述電極頭(4)包括：

固定段(41)，其一端與所述電極桿(3)的端部進(jìn)行可拆卸連接；以及

導(dǎo)通段(42)，其固定于所述固定段(41)的另一端，

其中，所述導(dǎo)通段(42)上開(kāi)設(shè)有至少一條從其自由端出發(fā)向其固定端延伸的細(xì)槽(45)，所述細(xì)槽(45)在所述導(dǎo)通段(42)的徑向方向上貫穿所述導(dǎo)通段(42)，使得所述導(dǎo)通段(42)被所述細(xì)槽(45)分割成至少兩個(gè)分叉(44)。

4.如權(quán)利要求3所述的用于管式PECVD設(shè)備的石墨舟電極對(duì)接裝置，其特征在于，所述固定段(41)的徑向尺寸大于所述導(dǎo)通段(42)的徑向尺寸，其中，所述固定段(41)與所述導(dǎo)通段(42)之間固接有錐形導(dǎo)向段(43)，該錐形導(dǎo)向段(43)的徑向尺寸在從所述固定段(41)出發(fā)向所述導(dǎo)通段(42) 延伸的方向上呈逐漸收縮之勢(shì)。

5.如權(quán)利要求3所述的用于管式PECVD設(shè)備的石墨舟電極對(duì)接裝置，其特征在于，所述導(dǎo)通段(42)的外周電鍍有鍍銀層。

6.如權(quán)利要求1所述的用于管式PECVD設(shè)備的石墨舟電極對(duì)接裝置，其特征在于，所述接電固定組件(5)包括：

一端固定安裝于所述爐蓋(1)外側(cè)的電極連接管(51)，其內(nèi)部中空以形成在軸線方向上貫穿所述電極連接管(51)的連接通孔(511)；

與所述電極連接管(51)的另一端同軸固接的電極安裝管(52)，其內(nèi)部中空以形成在軸線方向上貫穿所述電極安裝管(52)的安裝通孔(521)，

其中，所述安裝通孔(521)與所述連接通孔(511)在軸向上相連通，所述安裝通孔(521)中嵌設(shè)有由絕緣材料制成的絕緣安裝套(53)，該絕緣安裝套(53)從所述電極安裝管(52)的端面出發(fā)延伸至連接通孔(511)中，電極桿(3)的端部插接入絕緣安裝套(53)中并且從所述安裝通孔(521)中露出形成接線端子，從所述絕緣安裝套(53)引出的電極桿(3)經(jīng)所述連接通孔(511)穿過(guò)所述爐蓋(1)后沿著所述真空反應(yīng)爐(2)的軸線方向延伸至所述真空反應(yīng)爐(2)的內(nèi)部。

7.如權(quán)利要求6所述的用于管式PECVD設(shè)備的石墨舟電極對(duì)接裝置，其特征在于，所述安裝通孔(521)的內(nèi)徑小于所述連接通孔(511)的內(nèi)徑。