[實用新型]一種探針臺

有效

• 申請號: 201921566696.9
• 申請日: 2019-09-20
• 公開（公告）號: CN211122940U
• 公開（公告）日: 2020-07-28
• 發明（設計）人: 楊應俊;李景均;沈杰
• 申請（專利權）人: 矽電半導體設備（深圳）股份有限公司
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04;H01L21/66
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種探針臺。所述探針臺包括用于安裝保護結構的機架，所述探針臺在操作面設置有，第一保護板，固定于機架；第一導向部，平行于第一保護板并連接于機架；第一滑動門，運動連接于第一導向部；所述第一滑動門設置有第一限位塊；第一滑動門沿第一導向部運動使第一滑動門止抵于機架，或者所述第一限位塊沿第一導向部方向止抵于第一保護板；第一滑動門止抵于機架時，第一滑動門有面積S1遮蓋于第一保護板；第一限位塊沿第一導向部止抵于第一保護板時，第一滑動門有面積S2遮蓋于第一保護板；所述面積S1大于面積S2；滿足探針臺的使用要求，結構簡單，使用方便可靠。

技術領域

本實用新型涉及一種探針臺。

背景技術

探針臺為用于測試晶圓的設備，為了保護操作者的安全需要設置保護門；然而常規的保護門采用翻折結構，造成保護門使用空間較大，不利于減小探針臺整體占用空間；平開推拉窗結構采用多塊玻璃相互重疊，從而減小操作空間；一些儲存柜的門也是采用類似的多扇門重疊結構用于減小使用空間；然而上述平開推拉窗和儲存柜的結構能夠滿足在任何位置都能完全打開，對于探針臺使用場合來講上述操作麻煩，用于探針臺設備的實用性不強。

實用新型內容

為解決探針臺保護門使用空間大的問題，本實用新型提出一種探針臺采用了類似平開推拉窗結構的技術方案。

本實用新型的技術方案為：一種探針臺，所述探針臺包括用于安裝保護結構的機架，

所述探針臺在操作面設置有，

第一保護板，固定于機架；

第一導向部，平行于第一保護板并連接于機架；

第一滑動門，運動連接于第一導向部；所述第一滑動門設置有第一限位塊；第一滑動門沿第一導向部運動使第一滑動門止抵于機架，或者所述第一限位塊沿第一導向部方向止抵于第一保護板；

第一滑動門止抵于機架時，第一滑動門有面積S1遮蓋于第一保護板；第一限位塊沿第一導向部止抵于第一保護板時，第一滑動門有面積S2遮蓋于第一保護板；所述面積S1大于面積S2。

進一步的，所述探針臺還包括，

第二滑動門，所述第二滑動門運動連接于第一導向部；所述第二滑動門設置有第二限位塊和把手；所述第二滑動門運動使第二限位塊止抵于第一滑動門，所述第二滑動門有面積S3遮蓋于第一滑動門；或者所述第二滑動門運動使把手止抵于第一滑動門，所述第二滑動門有面積S4遮蓋于第一滑動門；所述面積S3大于面積S4。

進一步的，所述把手設置有緩沖橡膠環，所述把手止抵于第二滑動門時，所述緩沖橡膠環與第二滑動門接觸。

進一步的，所述把手設置有護手塊，所述護手塊沿把手從第二滑動門延伸，且延伸高度高于把手接觸第二滑動門的高度，所述護手塊用于隔離操作者的手和第一滑動門。

進一步的，所述探針臺設置有第二導向部，所述第二導向部沿平行于第一導向部方向安裝于機架；所述第一滑動門運動連接于第二導向部。

進一步的，所述第一導向部和第二導向部沿垂直于第一滑動門運動方向的兩端分開設置。

進一步的，第一滑動門沿第一導向部運動使第一滑動門止抵于機架，替代的方案為：所述第一限位塊止抵于機架或第一保護板；則第一限位塊止抵于機架或第一保護板時，所述第一滑動門有面積S1遮蓋于第一保護板。

進一步的，所述第一限位塊沿第一導向部方向止抵于第一保護板，替代的技術方案為：所述機架設置有抵擋塊，第一滑動門沿第一導向部運動使第一滑動門止抵于抵擋塊，此時第一滑動門有面積S2遮蓋于第一保護板。

本實用新型的有益效果在于：滿足探針臺的使用要求，結構簡單，使用方便可靠。

附圖說明