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[實用新型]一種基于太赫茲超材料的微流控芯片有效

專利信息
申請號: 201921560002.0 申請日: 2019-09-19
公開(公告)號: CN210935016U 公開(公告)日: 2020-07-07
發明(設計)人: 陶進杰;郎婷婷;王鋼棋 申請(專利權)人: 中國計量大學
主分類號: B01L3/00 分類號: B01L3/00;C12N5/00;C12M1/34;C12M1/00;C12Q1/02;G01N21/84
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 310018 浙江省*** 國省代碼: 浙江;33
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 基于 赫茲 材料 微流控 芯片
【權利要求書】:

1.一種基于太赫茲超材料的微流控芯片,包括芯片本體,其特征在于,所述芯片本體上開設有樣品池(1)、清洗池(3)、測量室(5)以及廢液池(7);所述樣品池(1)與所述測量室(5)之間通過流入通道(2)連通;所述清洗池(3)與所述測量室(5)之間通過清洗通道(4)相連通;所述廢液池(7)與所述測量室(5)之間通過流出通道(6)相連通;所述測量室(5)包括基底層(11)和涂覆于所述基底層(11)上的傳感層(10);所述傳感層(10)為超材料亞波長金屬周期陣列;所述流入通道(2)、清洗通道(4)和流出通道(6)構成微流通道。

2.根據權利要求1所述的基于太赫茲超材料的微流控芯片,其特征在于,所述微流通道均采用聚二甲基硅氧烷材料制備而成。

3.根據權利要求1所述的基于太赫茲超材料的微流控芯片,其特征在于,整個所述微流通道的結構呈Y字型。

4.根據權利要求1所述的基于太赫茲超材料的微流控芯片,其特征在于,所述傳感層(10)亞波長金屬周期陣列的單個周期結構由一個x方向長方形片和兩個y方向長方形片組成;周期尺寸Px=120μm,Py=120μm,基底厚度h=50μm,x方向長方形片的寬w1=20μm,x方向長方形片的長L1=180μm,y方向兩長方形片的長L2=L3=85μm,寬w2=w3=20μm,y方向兩長方形片分別與x方向長方形片相隔g1=3μm,g2=10μm,傳感層(10)的厚度t=0.4μm。

5.根據權利要求4所述的基于太赫茲超材料的微流控芯片,其特征在于,基底層(11)為高阻硅材料層;所述傳感層(10)為金屬金層。

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