[實用新型]一種同步多級伸縮機構(gòu)及PECVD設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921553630.6
• 申請日: 2019-09-18
• 公開（公告）號: CN211495948U
• 公開（公告）日: 2020-09-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王玉明;劉景博;陳暉;張庶
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州拓升智能裝備有限公司
• 主分類號: B65G47/90
• 分類號: B65G47/90;C23C16/50
• 代理公司: 北京遠大卓悅知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11369
• 代理人: 韓飛

1.一種同步多級伸縮機構(gòu)，其特征在于，包括：

至少兩組伸縮組件(110)，其調(diào)節(jié)所述同步多級伸縮機構(gòu)的長度；

驅(qū)動組件(130)，其驅(qū)動所述伸縮組件(110)的伸長或收縮；

傳動組件(150)，其設(shè)于兩兩所述伸縮組件(110)的端部；以及

固定組件(161)，其固定所述伸縮組件(110)；

其中，兩兩所述伸縮組件(110)被并聯(lián)地布置在所述傳動組件(150)的兩端以實現(xiàn)兩兩所述伸縮組件(110)同時前后伸縮往復(fù)運動。

2.如權(quán)利要求1所述的同步多級伸縮機構(gòu)，其特征在于，所述伸縮組件(110)包括至少兩級伸縮臂(111)。

3.如權(quán)利要求2所述的同步多級伸縮機構(gòu)，其特征在于，兩兩所述伸縮臂(111)之間設(shè)有滑動導(dǎo)向組件(113)滑動連接。

4.如權(quán)利要求3所述的同步多級伸縮機構(gòu)，其特征在于，所述滑動導(dǎo)向組件(113)包括：

第一滑動導(dǎo)向組件(1113)；以及

第二滑動導(dǎo)向組件(1115)，其與所述第一滑動導(dǎo)向組件(1113)相適配。

5.如權(quán)利要求3所述的同步多級伸縮機構(gòu)，其特征在于，所述滑動導(dǎo)向組件(113)還包括：

惰輪(1122)；以及

第一驅(qū)動同步帶(1112)，其連接所述驅(qū)動組件(130)與所述惰輪(1122)；

其中，每一級所述伸縮臂(111)都包括所述滑動導(dǎo)向組件(113)。

6.如權(quán)利要求5所述的同步多級伸縮機構(gòu)，其特征在于，所述第一驅(qū)動同步帶(1112)固定于所述滑動導(dǎo)向組件(113)的第一伸縮臂板(1111)與連接板壓板(1125)之間；

其中，所述連接板壓板(1125)與所述第一驅(qū)動同步帶(1112)相接觸的面設(shè)為鋸齒狀。

7.如權(quán)利要求1所述的同步多級伸縮機構(gòu)，其特征在于，所述驅(qū)動組件(130)包括：

至少兩個主動驅(qū)動組件(131)，其為所述伸縮組件(110)的往復(fù)運動提供動力；

至少兩個從動驅(qū)動組件(132)，其數(shù)目與所主動驅(qū)動組件(131)一致。

8.如權(quán)利要求7所述的同步多級伸縮機構(gòu)，其特征在于，兩兩所述主動驅(qū)動組件(131)分別設(shè)于所述同一組伸縮組件(110)的不同級的第一伸縮臂(111)或第二伸縮臂(112)上；以及

兩兩所述從動驅(qū)動組件(132)分別設(shè)于不同于所述主動驅(qū)動組件(131)的所述同一組伸縮組件(110)的不同級的第一伸縮臂(111)或第二伸縮臂(112)上。

9.如權(quán)利要求7所述的同步多級伸縮機構(gòu)，其特征在于，所述主動驅(qū)動組件(131)與所述從動驅(qū)動組件(132)之間有傳動組件(150)傳動連接。

10.一種PECVD設(shè)備，其特征在于，包含權(quán)利要求1～9任一項所述的同步多級伸縮機構(gòu)。