[實用新型]一種高速工溫DFB激光器

有效

• 申請號: 201921546382.2
• 申請日: 2019-09-18
• 公開（公告）號: CN210468378U
• 公開（公告）日: 2020-05-05
• 發明（設計）人: 單智發;張永;姜偉;陳陽華
• 申請（專利權）人: 全磊光電股份有限公司
• 主分類號: H01S5/12
• 分類號: H01S5/12;H01S5/22;H01S5/34
• 代理公司: 蘇州翔遠專利代理事務所(普通合伙) 32251
• 代理人: 劉計成

1.一種高速工溫DFB激光器，其特征在于：該激光器的外延結構包括InP襯底(01)，所述InP襯底(01)上沉積有緩沖層(02)，所述緩沖層(02)的左上方沉積有縱向限制層(04)；所述緩沖層(02)的右上方由下往上依次沉積有光柵層(03)、過度層(05)、有源區下限制層(06)、下波導層(07)、量子阱(08)、上波導層(09)和有源區上限制層(10)；所述縱向限制層(04)與所述有源區上限制層(10)的上端齊平且兩者上方沉積一腐蝕阻擋層(11)；所述腐蝕阻擋層(11)的上方依次沉積有聯接層(12)、第一勢壘漸變層(13)、第二勢壘漸變層(14)和歐姆接觸層(15)；該激光器的表面設置有絕緣層。

2.根據權利要求1所述的一種高速工溫DFB激光器，其特征在于：該外延結構的脊波導結構上蒸鍍有正面電極，該外延結構的InP襯底背面蒸鍍有背面電極；該激光器的管芯一端蒸鍍有反射率為90％的高反射膜，另一端蒸鍍有反射率為0.03％的低反射膜。

3.根據權利要求1所述的一種高速工溫DFB激光器，其特征在于：所述光柵層(03)為張應變結構且應變量為500-1000ppm。

4.根據權利要求1所述的一種高速工溫DFB激光器，其特征在于：所述光柵層(03)的厚度為40～60nm。

5.根據權利要求1所述的一種高速工溫DFB激光器，其特征在于：所述絕緣層的材料為氧化石墨烯高熱導層材料或者金鋼石高熱導層材料。

6.根據權利要求1所述的一種高速工溫DFB激光器，其特征在于：所述第一勢壘漸變層(13)、第二勢壘漸變層(14)的波長分別為1300nm和1500nm。