[實用新型]一種鏈式硅片加工裝置的傳動機構及鏈式硅片加工裝置

有效

• 申請號: 201921539154.2
• 申請日: 2019-09-16
• 公開（公告）號: CN210510241U
• 公開（公告）日: 2020-05-12
• 發明（設計）人: 李永杰;張建峰;吳曦;曹為龍;戴明凱
• 申請（專利權）人: 鹽城阿特斯協鑫陽光電力科技有限公司;阿特斯陽光電力集團有限公司
• 主分類號: F16H57/04
• 分類號: F16H57/04;F16H1/20
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

1.一種鏈式硅片加工裝置的傳動機構，其特征在于，包括：

支架(1)，所述支架(1)內設有集水槽(11)；

主軸(2)，所述主軸(2)可轉動地設在所述支架(1)上，且所述主軸(2)位于所述集水槽(11)的上方；

主齒輪(3)，所述主齒輪(3)為多個，多個所述主齒輪(3)沿所述主軸(2)的軸向方向間隔分布；

副齒輪(4)，所述副齒輪(4)為多個，多個所述副齒輪(4)與多個所述主齒輪(3)一一對應設置，且每個所述副齒輪(4)均與一個所述主齒輪(3)傳動嚙合；

噴淋組件(5)，所述噴淋組件(5)與所述支架(1)相連且位于所述主齒輪(3)和所述副齒輪(4)的上方，所述噴淋組件(5)包括噴嘴(53)，所述噴嘴(53)朝向所述主齒輪(3)和所述副齒輪(4)噴射液體。

2.根據權利要求1所述的鏈式硅片加工裝置的傳動機構，其特征在于，所述噴淋組件(5)包括：

固定座(51)，所述固定座(51)連接在所述支架(1)上；

噴淋管(52)，所述噴淋管(52)連接在所述固定座(51)上，且所述噴淋管(52)沿所述主軸(2)的軸向方向延伸設置，所述噴淋管(52)的周面上設有多個沿所述主軸(2)的軸向方向間隔分布的噴淋孔；所述噴嘴(53)為多個，多個所述噴嘴(53)與多個所述噴淋孔一一對應設置。

3.根據權利要求2所述的鏈式硅片加工裝置的傳動機構，其特征在于，所述固定座(51)包括：

下固定塊(511)，所述下固定塊(511)連接在所述支架(1)上，所述下固定塊(511)上設有下配合半槽；

上固定塊(512)，所述上固定塊(512)扣合在所述下固定塊(511)上，且所述上固定塊(512)上設有與所述下配合半槽對應設置的上配合半槽，所述上配合半槽和所述下配合半槽組成配合槽，所述噴淋管(52)設在所述配合槽內。

4.根據權利要求3所述的鏈式硅片加工裝置的傳動機構，其特征在于，所述固定座(51)還包括鎖緊件(513)，所述鎖緊件(513)穿設在所述下固定塊(511)和/或所述上固定塊(512)上，所述鎖緊件(513)配置為將所述噴淋管(52)鎖緊在所述配合槽內。

5.根據權利要求3所述的鏈式硅片加工裝置的傳動機構，其特征在于，所述鏈式硅片加工裝置的傳動機構還包括支撐塊(6)，所述支撐塊(6)與所述支架(1)相連，且所述主軸(2)穿設在所述支撐塊(6)上。

6.根據權利要求5所述的鏈式硅片加工裝置的傳動機構，其特征在于，所述支撐塊(6)與所述下固定塊(511)為焊接一體件或者一體成型件。

7.根據權利要求2所述的鏈式硅片加工裝置的傳動機構，其特征在于，每個所述噴嘴(53)正對一個所述主齒輪(3)和一個所述副齒輪(4)的嚙合處。

8.根據權利要求2所述的鏈式硅片加工裝置的傳動機構，其特征在于，所述噴淋管(52)上設有控制閥(7)。

9.根據權利要求8所述的鏈式硅片加工裝置的傳動機構，其特征在于，所述集水槽(11)上設有溢流口(12)，所述溢流口(12)通過連接管與所述噴淋管(52)相連，且所述連接管與所述噴淋管(52)的連接處位于所述控制閥(7)的下游，所述連接管上還設有循環水泵(8)。

10.一種鏈式硅片加工裝置，其特征在于，包括權利要求1-9中任一項所述的鏈式硅片加工裝置的傳動機構。