[實用新型]具有良好防水性能的異形晶片輪廓修磨倒角執(zhí)行機構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921538240.1
• 申請日: 2019-09-17
• 公開（公告）號: CN211305811U
• 公開（公告）日: 2020-08-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 馬世杰;趙忠志;姜志艷;岳軍;任云星;田志峰;呂沫;閆冬
• 申請（專利權(quán)）人: 西北電子裝備技術(shù)研究所（中國電子科技集團公司第二研究所）
• 主分類號: B24B9/06
• 分類號: B24B9/06;B24B41/02;B24B47/12;B24B41/06;B24B55/02;B24B55/00
• 代理公司: 山西華炬律師事務(wù)所 14106
• 代理人: 陳奇

本實用新型公開了一種具有良好防水性能的異形晶片輪廓修磨倒角執(zhí)行機構(gòu)，解決了如何最大程度地避免沖刷晶片與倒角砂輪冷卻水進入到精密執(zhí)行機構(gòu)中的問題。在Y向移動平臺的前后兩側(cè)分別連接前部Y向伸縮彈性皮腔（14）和后部Y向伸縮彈性皮腔（13），在Y向移動平臺的左右兩側(cè)分別連接左部X向伸縮彈性皮腔（6）和右部X向伸縮彈性皮腔（7），組成一個封閉的擋水傘，由于前部Y向伸縮彈性皮腔和后部Y向伸縮彈性皮腔（13）具有前后彈性伸縮的功能，部X向伸縮彈性皮腔和右部X向伸縮彈性皮腔具有左右彈性伸縮的功能，而DD馬達安裝在Y向移動平臺的下面，從而實現(xiàn)了執(zhí)行機構(gòu)在實現(xiàn)XYθ三軸的復(fù)合運動時，不會發(fā)生傘面水滲漏現(xiàn)象。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種異形晶片輪廓修磨倒角設(shè)備，特別涉及一種異形晶片輪廓修磨倒角設(shè)備中的執(zhí)行機構(gòu)。

背景技術(shù)

碲鋅鎘（CdZnTe）晶體是一種重要的功能晶體材料，由于其具有優(yōu)異的性能，廣泛應(yīng)用于國防軍工、信息、微電子和光電子等尖端技術(shù)領(lǐng)域，CdZnTe晶體的另外一個用途是作為紅外光學(xué)晶體碲鎘汞薄膜生長的外延襯底；CdZnTe晶體具有脆性大和硬度低的特性，屬于各向異性軟脆性功能晶體材料；CdZnTe晶體的生產(chǎn)過程是：先在鑄錠爐內(nèi)培養(yǎng)生長出柱狀晶體，然后，沿晶向?qū)⒅鶢罹w切割成片狀晶片，由于晶體所生長的晶向不規(guī)則，切割得到的片狀晶片是多樣的和不規(guī)則的，需要對得到的片狀晶片的尖角及輪廓進行修磨，以防其在后續(xù)拋磨工藝中，在片狀晶片的尖角處和輪廓邊棱處出現(xiàn)應(yīng)力集中的現(xiàn)象，導(dǎo)致片狀晶片在拋磨中碎裂；片狀晶片經(jīng)輪廓修磨和倒角后形成了取料毛坯晶片，在取料毛坯晶片上切割取出產(chǎn)品晶片。

將片狀晶片加工成取料毛坯晶片是通過輪廓修磨倒角機上進行的，現(xiàn)有的倒角設(shè)備是先對不規(guī)則的片狀晶片進行輪廓識別，識別出它的最大內(nèi)接圓直徑，并以此為修磨輪廓軌跡；一般是將被修磨的片狀晶片吸附在輪廓修磨倒角機上的旋轉(zhuǎn)吸盤上，旋轉(zhuǎn)吸盤是連接在直接驅(qū)動電機（DD馬達）上，DD馬達安裝在Y向?qū)к壐鄙希琘向?qū)к壐庇职惭b在X向?qū)к壐鄙希蛊瑺罹軐崿F(xiàn)XYθ三軸的復(fù)合運動，使其外緣輪廓與砂輪接觸，實現(xiàn)修磨和倒角，片狀晶片在倒角過程中，有冷卻液不斷的沖刷晶片與倒角砂輪，以達到冷卻磨削溫度的目的，由于輪廓修磨倒角是一個動態(tài)執(zhí)行過程，而執(zhí)行該過程的X向?qū)к壐薄向?qū)к壐焙虳D馬達均屬于精密執(zhí)行機構(gòu)，如何最大程度地避免沖刷晶片與倒角砂輪冷卻水進入到精密執(zhí)行機構(gòu)中，使晶片輪廓修磨倒角執(zhí)行機構(gòu)具有良好的防水性能，成為保障其正常運行的突出問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供了一種具有良好防水性能的異形晶片輪廓修磨倒角執(zhí)行機構(gòu)，解決了如何最大程度地避免沖刷晶片與倒角砂輪冷卻水進入到精密執(zhí)行機構(gòu)中的技術(shù)問題。

本發(fā)明是通過以下技術(shù)方案解決以上技術(shù)問題的：

本發(fā)明的總體構(gòu)思是：在Y向移動平臺的前后兩側(cè)分別連接前部Y向伸縮彈性皮腔和后部Y向伸縮彈性皮腔，在Y向移動平臺的左右兩側(cè)分別連接左部X向伸縮彈性皮腔和右部X向伸縮彈性皮腔，組成一個封閉的擋水傘，將X向?qū)к壐薄向?qū)к壐焙虳D馬達遮擋在此傘下方，從而起到防止冷卻水進入到這些執(zhí)行機構(gòu)中，由于前部Y向伸縮彈性皮腔和后部Y向伸縮彈性皮腔具有前后彈性伸縮的功能，左部X向伸縮彈性皮腔和右部X向伸縮彈性皮腔具有左右彈性伸縮的功能，而DD馬達安裝在Y向移動平臺的下面，從而實現(xiàn)了執(zhí)行機構(gòu)在實現(xiàn)XYθ三軸的復(fù)合運動時，擋水傘只會發(fā)生風(fēng)箱式皺褶變化，而不會發(fā)生傘面水滲漏現(xiàn)象。