[實用新型]一種用于特殊氣體供應的長管拖車供應系統

有效

• 申請號: 201921530770.1
• 申請日: 2019-09-16
• 公開（公告）號: CN210979362U
• 公開（公告）日: 2020-07-10
• 發明（設計）人: 甘萬;楊欣;江福榮
• 申請（專利權）人: 上海盛韜半導體科技有限公司
• 主分類號: F17D3/01
• 分類號: F17D3/01;F17D5/00;F17D5/06;B60P3/22
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

一種用于特殊氣體供應的長管拖車供應系統，包括：Pigtail?Box箱體、控制顯示操作單元、工藝氣體供應單元、真空排放單元、吹掃單元、報警單元、條碼掃描槍和深度吹掃箱、Pigtail單元和地磅。本實用新型與傳統技術相比，通過重新設計整套管路和控制系統，避免人工操作的隱患，對供應過程中的安全性進行全面的保障，同時針對長管拖車供應的特殊需要，進行針對性的防護和安全性提升。

技術領域

本實用新型涉及特殊氣體輸送技術領域，具體涉及一種用于特殊氣體供應的長管拖車供應系統。

背景技術

由于全球電子、光伏產業的蓬勃發展，及我國政府大力提倡科技興國，國內半導體、光伏制造業發展迅猛。據2006年中國半導體產業研究報告指出：“2006年底，中國國內有近50家晶圓制造廠，112家IC封裝和IC 裝配廠，450家IC設計公司。2006年中國國內半導體產業產值807億元人民幣，大約為100億美元，其中封測350億元，晶圓制造242億元，IC 設計215億元。中國國內半導體市場的規模在2006年超過600億美元。其中前20大廠家就占有300億美元以上。”光伏產業在近兩年快速發展，是未來新能源產業的主力軍。

而在半導體、光伏相關產業常用的制程中需要使用許多特殊氣體，其中一些有毒、腐蝕、可燃的氣體危害性相當高，一旦這些氣體供應系統發生閥件適當損壞如受腐蝕或人為操作失誤等因素造成氣體泄漏，將威脅到人員生命安全、設備損失及生產中斷，其危害性是讓我們特別重視且不可小看的。其中特殊氣體分配箱在半導體產業中使用非常廣泛。在半導體產業發展的初期曾發生不少的事故。數據顯示，特殊氣體分配箱意外事故常造成事業單位財產損失、環境污染、人員傷亡、爆炸及死亡問題。而造成意外事故的主要原因為人為失誤。國內半導體廠都采用各種管理及危害分析方法來達到風險的適當控制，但在人員手動控制的狀態下，仍然無法降低風險性。

大流量氣體供應設備BSGS主要用在半導體、光伏產業中為工藝機臺連續配送工藝氣體。因有些機臺所需的流量較大，一般的特殊氣體輸送柜 GC難以滿足流量需求。

為了解決上述問題，我們做出了一系列改進。

實用新型內容

本實用新型的目的在于，提供一種用于特殊氣體供應的長管拖車供應系統，以克服現有技術所存在的上述缺點和不足。

一種用于特殊氣體供應的長管拖車供應系統，其特征在于，包括： Pigtail-Box箱體、控制顯示操作單元、工藝氣體供應單元、真空排放單元、吹掃單元、報警單元、條碼掃描槍、深度吹掃箱、Pigtail單元和地磅，所述控制顯示操作單元與Pigtail-Box箱體連接，所述工藝氣體供應單元設于 Pigtail-Box箱體內部，所述真空排放單元與工藝氣體供應單元連接，所述吹掃單元與工藝氣體供應單元連接，所述報警單元與Pigtail-Box箱體連接，所述條碼掃描槍與Pigtail-Box箱體連接，所述深度吹掃箱與Pigtail-Box 箱體內部連接，所述Pigtail單元與深度吹掃箱連接，所述地磅設于長管拖車下方；