[實用新型]一種光刻膠清洗裝置

有效

• 申請號: 201921497382.8
• 申請日: 2019-09-10
• 公開（公告）號: CN210222485U
• 公開（公告）日: 2020-03-31
• 發明（設計）人: 黎厚明;王勝林
• 申請（專利權）人: 深圳市道爾頓電子材料有限公司
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型涉及光刻膠技術領域，且公開了一種光刻膠清洗裝置，包括第一安裝架，所述第一安裝架的頂部固定安裝有數量兩個的連接桿，兩個所述連接桿的頂部均與第二安裝架的底部固定連接，所述第二安裝架內腔的頂壁固定安裝有放射燈，所述第一安裝架內腔的左右側壁均固定安裝有安裝塊，所述安裝塊的內部滑動連接有活動塊，所述安裝塊的頂壁內部固定安裝有螺紋圈，所述螺紋圈的內表面活動連接有貫穿安裝塊且與活動塊活動連接的螺絲桿，所述連接桿的外表面套接有與連接桿轉動連接的轉動桿。該光刻膠清洗裝置，通過設置導流桿，當使用者需要清洗被光刻膠涂抹后的電子元件時，從而使該裝置具備方便清洗的優點，方便了使用者使用。

技術領域

本實用新型涉及光刻膠技術領域，具體為一種光刻膠清洗裝置。

背景技術

光刻膠是微電子技術中微細圖形加工的關鍵材料之一，特別是近年來大規模和超大規模集成電路的發展，更是大大促進了光刻膠的研究開發和應用。

光刻膠的技術復雜，品種較多，根據其化學反應機理和顯影原理，可分負性膠和正性膠兩類，但目前市場上現有的光刻膠在涂抹后不方便對其進行清洗，造成了使用者在清洗時需要過多的時間和體力，故提出一種光刻膠清洗裝置來解決上述問題。

實用新型內容

(一)解決的技術問題

針對現有技術的不足，本實用新型提供了一種光刻膠清洗裝置，具備方便清洗等優點，解決了目前市場上現有的光刻膠在涂抹后不方便對其進行清洗，造成了使用者在清洗時需要過多的時間和體力的問題。

(二)技術方案

為實現上述方便清洗的目的，本實用新型提供如下技術方案：一種光刻膠清洗裝置，包括第一安裝架，所述第一安裝架的頂部固定安裝有數量兩個的連接桿，兩個所述連接桿的頂部均與第二安裝架的底部固定連接，所述第二安裝架內腔的頂壁固定安裝有放射燈，所述第一安裝架內腔的左右側壁均固定安裝有安裝塊，所述安裝塊的內部滑動連接有活動塊，所述安裝塊的頂壁內部固定安裝有螺紋圈，所述螺紋圈的內表面活動連接有貫穿安裝塊且與活動塊活動連接的螺絲桿，所述連接桿的外表面套接有與連接桿轉動連接的轉動桿，兩個所述轉動桿的相離面均固定安裝有第一固定箱，所述第一固定箱的內部滑動連接有貫穿第一固定箱的滑動桿，兩個所述滑動桿的相離面均固定安裝有固定架，所述固定架的內部固定安裝有貫穿并延伸至固定架底部的噴槍，所述噴槍的頂部連通有位于固定架頂部的進水漏斗，所述噴槍的外表面固定安裝有連通至噴槍內部的控制閥，所述噴槍的底部固定安裝有導流桿，所述第二安裝架的左右兩側均固定安裝有齒槽塊，所述第一固定箱的頂部固定安裝有第二固定箱，所述第二固定箱的內部滑動連接有貫穿第二固定箱的插桿，兩個所述插桿的相對面均固定安裝有插塊，所述第二固定箱內腔的頂壁和底壁句固定安裝有數量為兩個的彈簧，所述彈簧遠離第二固定箱的一側固定安裝有與插桿活動連接的卡塊。

優選的，所述螺紋圈的內表面開設有螺紋凹槽，且螺絲桿與螺紋凹槽互相嚙合，螺絲桿的頂部固定安裝有旋桿。

優選的，所述活動塊的頂部開設有限位凹槽，限位凹槽的內部活動連接有限位塊，且螺絲桿穿過限位凹槽與限位塊固定連接。

優選的，所述滑動桿通過螺栓與固定架固定連接，且控制閥的一側活動安裝有連通至控制旋鈕。

優選的，兩個所述齒槽塊的相離面均開設有齒紋凹槽，且插塊的外表面固定安裝有齒紋凸塊。

優選的，所述卡塊的形狀為圓弧形，插桿的頂部和底部均開設有數量兩個的圓弧形卡槽，且卡塊位于圓弧形卡槽的內部。

(三)有益效果

與現有技術相比，本實用新型提供了一種光刻膠清洗裝置，具備以下有益效果：