[實用新型]一種射頻電源

有效

• 申請號: 201921495212.6
• 申請日: 2019-09-06
• 公開（公告）號: CN210380678U
• 公開（公告）日: 2020-04-21
• 發明（設計）人: 樂衛平;張桂東
• 申請（專利權）人: 深圳市百世達半導體設備有限公司;深圳市恒運昌真空技術有限公司
• 主分類號: H02M7/04
• 分類號: H02M7/04;H02M3/335;H02M1/12;G01K7/00;G01K13/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 高勇

本實用新型公開了一種射頻電源，該射頻電源中，在對功率調整及阻抗匹配模塊輸出的射頻交流電進行采集時，充分考慮到環境溫度對采樣的影響，從而設置了恒溫采樣電路，恒溫采樣電路將其所處的環境溫度保持在預設溫度范圍內，并采集射頻交流電，以便后續根據該射頻交流電調整輸出至負載的射頻交流電，從而盡量減小甚至避免了環境溫度對射頻交流電的影響，提高了射頻交流電的采集精度，也提高了射頻電源的輸出電源的精度，減少了射頻電源的輸出電源的調整時間。

技術領域

本實用新型涉及射頻電源技術領域，特別是涉及一種射頻電源。

背景技術

射頻電源一般應用于等離子清洗及普通工業鍍膜等應用領域。考慮到射頻電源的負載為游離的等離子體，其功率需求也隨時發生變化，為了滿足負載的功率需求，在對射頻電源的輸出電源調整的過程中，涉及到對射頻電源的輸出電壓和射頻電流的采集，現有技術中在對射頻電源的輸出電壓和射頻電流進行采集時，采樣電路中的一些器件例如運放等在采樣電路所處的環境溫度發生變化時，其靜態工作點也會發生變化，從而使得運放的輸出端電壓偏離原始值而上下漂動，造成采樣信號的失真，降低了射頻電源的輸出電源的精度，延長了射頻電源的輸出電源的調整時間。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種射頻電源，提高了射頻交流電的采集精度，也提高了射頻電源的輸出電源的精度，減少了射頻電源的輸出電源的調整時間。

為解決上述技術問題，本實用新型提供了一種射頻電源，包括：

用于將交流電轉換為射頻直流電的整流模塊；

分別與所述整流模塊及負載連接、用于根據第一處理器的控制對所述射頻直流電進行逆變、功率調整及阻抗匹配，得到射頻交流電并輸出至負載的功率調整及阻抗匹配模塊；

與所述功率調整及阻抗匹配模塊的輸出端連接、用于將自身所處環境溫度保持在預設溫度范圍內并采集所述射頻交流電的恒溫采樣電路；

分別與所述功率調整及阻抗匹配模塊及所述恒溫采樣電路連接的所述第一處理器，用于根據所述射頻交流電控制所述功率調整及阻抗匹配模塊。

優選地，所述恒溫采樣電路包括：

用于采集射頻交流電壓的電壓采樣模塊；

用于采集射頻交流電流的電流采樣模塊；

用于采集自身所處環境溫度的溫度傳感器；

加熱模塊和制冷模塊；

分別與所述電壓采樣模塊、所述電流采樣模、所述溫度傳感器、所述加熱模塊和所述制冷模塊連接的第二處理器，用于通過控制所述加熱模塊和所述制冷模塊將所述環境溫度保持在預設溫度范圍內并輸出所述射頻交流電壓和所述射頻交流電流。

優選地，所述加熱模塊包括：

控制端與所述第二處理器連接的第一開關；

加熱器件及第一電源，所述加熱器件、第一電源及所述第一開關構成串聯回路。

優選地，所述制冷模塊包括：

控制端與所述第二處理器連接的第二開關；

制冷器件及第二電源，所述制冷器件、所述第二電源及所述第二開關構成串聯回路。

優選地，所述電壓采樣模塊包括：

用于采集射頻交流電壓的電壓傳感器；

與所述電壓傳感器連接的低通濾波器，用于濾除所述射頻交流電壓中的頻率超過1/2采樣頻率的高頻分量；

與所述低通濾波器連接的衰減器，用于將濾波后的射頻交流電衰減至單轉雙模塊的輸入信號處理范圍內；