[實用新型]一種真圓度檢測用治具

有效

• 申請號: 201921488778.6
• 申請日: 2019-09-09
• 公開（公告）號: CN210533258U
• 公開（公告）日: 2020-05-15
• 發明（設計）人: 穆帥帥;張代龍
• 申請（專利權）人: 富樂德科技發展（天津）有限公司
• 主分類號: G01B5/20
• 分類號: G01B5/20;G01B5/30
• 代理公司: 天津市新天方專利代理有限責任公司 12104
• 代理人: 孔珍

本實用新型是一種真圓度檢測用治具，包括檢測工作臺，其特征在于，所述檢測工作臺呈正方形板結構，所述檢測工作臺的中心設有圓形開口結構，所述圓形開口結構內同軸設有環形檢測臺，所述環形檢測臺的外壁與所述圓形開口結構的內壁固接，所述環形檢測臺低于所述檢測工作臺的上表面。本實用新型結構設計合理，操作簡便，通過設置環形檢測臺，檢測工作臺，部件清洗噴砂完畢后，將部件上部扣在環形檢測臺上，配合檢測工作臺，檢測部件的真圓度，與常規的游標卡尺檢測相比，避免了對同一部件進行多次隨機多點檢測，檢測方便有效，提高了檢測效率的同時降低了檢測誤差，進而滿足了檢測部件的使用需求。

技術領域

本實用新型涉及真圓度檢測工具技術領域，尤其涉及一種真圓度檢測用治具。

背景技術

半導體設備中有一種氮化鉭的物理沉積機臺，機臺中的部件下部防護罩(LOWERSHILED)因厚度較薄，且上部有一個開口，在清洗噴砂過程中存在變形的情況，因此，需要對清洗噴砂后的部件LOWER SHILED上部進行真圓度檢測。但是，常規的檢測采用游標卡尺對同一部件進行多次隨機多點檢測，檢測費時費力，檢測效率低，同時存在較大的檢測誤差，無法滿足檢測部件的使用需求。

發明內容

本實用新型旨在解決現有技術的不足，而提供一種真圓度檢測用治具。

本實用新型為實現上述目的，采用以下技術方案：

一種真圓度檢測用治具，包括檢測工作臺，其特征在于，所述檢測工作臺呈正方形板結構，所述檢測工作臺的四周對應設有若干安裝孔，所述安裝孔內同軸設有螺栓，所述檢測工作臺的底部四周設有若干與所述安裝孔一一對應的立柱，所述檢測工作臺通過所述螺栓與所述立柱固接，所述檢測工作臺的中心設有圓形開口結構，所述圓形開口結構內同軸設有環形檢測臺，所述環形檢測臺的外壁與所述圓形開口結構的內壁固接，所述環形檢測臺低于所述檢測工作臺的上表面。

所述檢測工作臺為SUS不銹鋼工作臺。

所述環形檢測臺與所述檢測工作臺為一體結構。

所述立柱的個數為4。

本實用新型的有益效果是：本實用新型結構設計合理，操作簡便，通過設置環形檢測臺，檢測工作臺，部件清洗噴砂完畢后，將部件上部扣在環形檢測臺上，配合檢測工作臺，檢測部件的真圓度，與常規的游標卡尺檢測相比，避免了對同一部件進行多次隨機多點檢測，檢測方便有效，提高了檢測效率的同時降低了檢測誤差，進而滿足了檢測部件的使用需求。

附圖說明

圖1為本實用新型的立體圖；

圖2為本實用新型的主視圖；

圖3為本實用新型的俯視圖；

圖中：1-檢測工作臺；2-環形檢測臺；3-螺栓；4-立柱；

以下將結合本實用新型的實施例參照附圖進行詳細敘述。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本實用新型作進一步說明：

如圖1-3所示，一種真圓度檢測用治具，包括檢測工作臺1，其特征在于，所述檢測工作臺1呈正方形板結構，所述檢測工作臺1的四周對應設有若干安裝孔，所述安裝孔內同軸設有螺栓3，所述檢測工作臺1的底部四周設有若干與所述安裝孔一一對應的立柱4，所述檢測工作臺1通過所述螺栓3與所述立柱4固接，所述檢測工作臺1的中心設有圓形開口結構，所述圓形開口結構內同軸設有環形檢測臺2，所述環形檢測臺2的外壁與所述圓形開口結構的內壁固接，所述環形檢測臺2低于所述檢測工作臺1的上表面。

作為優選，所述檢測工作臺1為SUS304不銹鋼工作臺。

作為優選，所述環形檢測臺2與所述檢測工作臺1為一體結構。