[實用新型]超高真空用精密壓電陶瓷擺動臺

有效

• 申請號: 201921484733.1
• 申請日: 2019-09-06
• 公開（公告）號: CN210380693U
• 公開（公告）日: 2020-04-21
• 發明（設計）人: 王文杰
• 申請（專利權）人: 儀晟科學儀器（嘉興）有限公司
• 主分類號: H02N2/00
• 分類號: H02N2/00
• 代理公司: 嘉興啟帆專利代理事務所(普通合伙) 33253
• 代理人: 張抗震

1.一種超高真空用精密壓電陶瓷擺動臺，包括擺動臺基座和相對于擺動臺基座往復擺動運動的擺動臺臺面，所述擺動臺臺面具有臺面延伸部，其特征在于，所述超高真空用大行程精密壓電位移臺還包括：

兩個交叉滾珠導軌，每個交叉滾珠導軌包括第一導軌體、第二導軌體和導軌保持架，所述導軌保持架位于第一導軌體和第二導軌體之間，所述導軌保持架同時與第一導軌體和第二導軌體耦合；

兩個壓電腿底座，所述臺面延伸部位于兩個壓電腿底座之間，所述臺面延伸部的兩側分別設有藍寶石片，所述壓電腿底座與位于同側的藍寶石片之間設有至少一個壓電陶瓷腿，所述壓電陶瓷腿粘接于壓電腿底座處，所述壓電陶瓷腿相對于臺面延伸部呈鏡面對稱狀，各個壓電陶瓷腿的一側與藍寶石片相互貼合并且緊密接觸，各個壓電陶瓷腿的另一側與壓電腿底座相互貼合并且緊密接觸，通過預緊螺絲調節預緊力大小。

2.根據權利要求1所述的超高真空用精密壓電陶瓷擺動臺，其特征在于，所述壓電腿底座的兩端端部同時設有預緊螺絲，所述預緊螺絲的一端與位于一側的壓電腿底座相接，所述預緊螺絲的另一端與位于另一側的壓電腿底座相接。

3.根據權利要求2所述的超高真空用精密壓電陶瓷擺動臺，其特征在于，所述壓電腿底座與預緊螺絲的接合處設有壓簧。

4.根據權利要求1-3中任一項權利要求所述的超高真空用精密壓電陶瓷擺動臺，其特征在于，所述超高真空用精密壓電陶瓷擺動臺的尺寸為40mm*40mm*17mm。

5.根據權利要求1-3中任一項權利要求所述的超高真空用精密壓電陶瓷擺動臺，其特征在于，所述超高真空用精密壓電陶瓷擺動臺的傾轉角為±10°。

6.一種超高真空用精密壓電陶瓷擺動臺，包括擺動臺基座和相對于擺動臺基座往復擺動運動的擺動臺臺面，其特征在于，所述超高真空用大行程精密壓電位移臺還包括：

兩個交叉滾珠導軌，每個交叉滾珠導軌包括第一導軌體、第二導軌體和導軌保持架，所述導軌保持架位于第一導軌體和第二導軌體之間，所述導軌保持架同時與第一導軌體和第二導軌體耦合；

兩個壓電腿底座，所述擺動臺臺面貼合有兩個藍寶石片，所述壓電腿底座與任一側的藍寶石片之間設有至少一個壓電陶瓷腿，所述壓電陶瓷腿粘接于壓電腿底座處，各個壓電陶瓷腿的一側與藍寶石片相互貼合并且緊密接觸，各個壓電陶瓷腿的另一側與壓電腿底座相互貼合并且緊密接觸，通過預緊螺絲調節預緊力大小。

7.根據權利要求6所述的超高真空用精密壓電陶瓷擺動臺，其特征在于，所述超高真空用精密壓電陶瓷擺動臺采用無磁材料制成。

8.根據權利要求6所述的超高真空用精密壓電陶瓷擺動臺，其特征在于：

所述第一導軌體的內側具有供嵌入導軌保持架的導槽，所述導槽鍍有二硫化鉬保護層；

所述第二導軌體的內側具有供嵌入導軌保持架的導槽，所述導槽鍍有二硫化鉬保護層。

9.根據權利要求8所述的超高真空用精密壓電陶瓷擺動臺，其特征在于，所述第一導軌體和第二導軌體的導槽均呈V型。

10.根據權利要求6所述的超高真空用精密壓電陶瓷擺動臺，其特征在于，

所述交叉滾珠導軌的兩端端部設有導軌限位螺絲。