[實用新型]真空腔室的真空平衡結構

有效

• 申請號: 201921475560.7
• 申請日: 2019-09-05
• 公開（公告）號: CN210588923U
• 公開（公告）日: 2020-05-22
• 發明（設計）人: 黃奕宏;劉馳;秦超;尹國偉;劉瑤林;方明登;韓寧寧;曹術;陳錦杰;楊杰;莊慶波;林鋒;鄧慧建;黃露;徐星明;溫業鋒;陳浩;林偉龍
• 申請（專利權）人: 深圳市深科達智能裝備股份有限公司
• 主分類號: B25B11/00
• 分類號: B25B11/00
• 代理公司: 深圳市壹品專利代理事務所(普通合伙) 44356
• 代理人: 江文鑫;唐敏

本實用新型涉及真空貼合的技術領域，公開了真空腔室的真空平衡結構，包括處于真空腔室內的治具板，治具板內設有內腔室；治具板上具有吸合面，吸合面上設置有靜電吸片以及真空吸孔，真空吸孔與內腔室連通；治具板上設有連通孔以及平衡孔，連通孔及平衡孔分別連通內腔室及外部，真空發生器通過連接管與連通孔連接；平衡孔上設置有自動平衡結構，內腔室內的壓力大于真空腔室內的壓力時，自動平衡結構打開平衡孔，內腔室與真空腔室連通；治具板處于真空腔室，內腔室的壓力大于真空腔室的壓力時，自動平衡結構打開平衡孔，內腔室與真空腔室連通，使內腔室與真空腔室的壓力一致，工件的表面沒有壓差，治具板通過靜電吸片吸附工件，實現對工件的固定。

技術領域

本實用新型專利涉及真空貼合的技術領域，具體而言，涉及真空腔室的真空平衡結構。

背景技術

在制造加工中，許多加工產品對加工的環境具有特殊要求，比如真空環境。利用真空控制結構將容器內的空氣抽取出來，使得容器內部氣壓減小，形成真空腔室，將工件放入真空腔室內進行真空貼合，使產品符合加工要求。

目前的真空貼合過程中，通過治具板的內腔體產生真空，利用真空吸孔和靜電吸片吸附工件，再對治具板所處的真空腔室進行抽真空，開始真空貼合工序，其中治具板的內腔體壓力大于真空腔室的壓力。

上述的真空貼合過程，由于治具板的內腔室的壓力大于真空腔室內的壓力，工件表面產生壓差，治具板上的真空吸孔會對工件產生推力，容易導致工件脫離治具板，導致治具板無法固定工件，真空貼合失敗。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供真空腔室的真空平衡結構，旨在解決現有技術中，真空貼合過程中工件表面存在壓差導致工件無法固定的問題。

本實用新型是這樣實現的，真空腔室的真空平衡結構，包括處于真空腔室內的治具板，所述治具板內設有內腔室；所述治具板上具有吸合面，所述吸合面上設置有靜電吸片以及真空吸孔，所述真空吸孔與所述內腔室連通；所述治具板上設有連通孔以及平衡孔，所述連通孔及所述平衡孔分別連通所述內腔室及外部，真空發生器通過連接管與所述連通孔連接；所述平衡孔上設置有自動平衡結構，當所述內腔室內的壓力大于所述真空腔室內的壓力時，所述自動平衡結構打開所述平衡孔，所述內腔室與所述真空腔室連通。

進一步地，當所述內腔室內的壓力與所述真空腔室的壓力的差值超過設定范圍時，所述自動平衡結構打開所述平衡孔；當所述內腔室內的壓力與所述真空腔室內的壓力的差值低于設定范圍時，所述自動平衡結構封閉所述平衡孔。

進一步地，所述自動平衡結構包括彈片，所述彈片具有固定段以及受力相對于所述固定段彈性擺動的活動段，所述固定段固定連接在所述治具板上，所述活動段覆蓋在所述平衡孔上；當所述活動段抵壓在所述治具板上，所述活動段封閉所述平衡孔，當所述活動段偏離所述治具板擺動后，所述平衡孔打開。

進一步地，所述治具板具有封閉面，所述平衡孔的開口形成在所述封閉面上；所述活動段具有朝向所述治具板的封閉面的抵壓面，所述抵壓面凸設有彈性層，當所述彈性層抵壓在所述治具板的封閉面上后，所述彈性層封蓋所述平衡孔的開口，封閉所述平衡孔。

進一步地，所述固定段與所述活動段呈彎折布置，沿所述固定段至所述活動段的延伸方向，所述活動段偏離所述治具板彎折布置。

進一步地，所述彈片具有背離所述治具板的外表面，所述彈片的外表面上設置有彎折過渡痕，所述彎折過渡痕形成在所述固定段與所述活動段的相對彎折處，所述彎折過渡痕上凸設有筋條，所述筋條沿著所述彎折過渡痕的長度方向延伸布置。

進一步地，所述彎折過渡痕呈彎曲狀，所述彎折過渡痕的中部朝向所述活動段凸出。