[實(shí)用新型]蒸鍍掩模中間體及蒸鍍掩模

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921475540.X
• 申請(qǐng)日: 2019-09-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN210711709U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-06-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 西剛廣;山本龍彥;小林昭彥
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 凸版印刷株式會(huì)社
• 主分類號(hào): C23C14/04
• 分類號(hào): C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002
• 代理人: 戚宏梅

本實(shí)用新型涉及蒸鍍掩模中間體及蒸鍍掩模。蒸鍍掩模中間體具備具有追隨蒸鍍掩模的邊緣的形狀的帶狀部、具備具有追隨帶狀部的邊緣的形狀的內(nèi)側(cè)邊緣且包圍帶狀部的框狀部、以及將帶狀部的邊緣與框狀部的內(nèi)側(cè)邊緣連接的多個(gè)跨接部。帶狀部通過(guò)各跨接部的切斷而形成蒸鍍掩模。在帶狀部的邊緣設(shè)置有具有追隨缺口的底部的形狀的彎曲部，各跨接部與帶狀部的邊緣中的除彎曲部以外的部位連接。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及蒸鍍掩模中間體及蒸鍍掩模。

背景技術(shù)

蒸鍍掩模具有具備表面及背面的矩形板狀。蒸鍍掩模具有從表面貫通至背面的多個(gè)貫通孔。各貫通孔具有在表面開(kāi)口的第1開(kāi)口、以及在背面開(kāi)口的第2開(kāi)口。各貫通孔是蒸鍍材料的通路。在使用蒸鍍掩模向?qū)ο笪镞M(jìn)行蒸鍍時(shí)，蒸鍍材料從第1開(kāi)口進(jìn)入貫通孔，由此在對(duì)象物上形成與第2開(kāi)口的形狀及位置對(duì)應(yīng)的圖案。為了抑制劃分貫通孔的壁面妨礙蒸鍍材料的通過(guò)，提出了具有50μm以下的厚度的蒸鍍掩模(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本專利第6319505號(hào)

然而，在使用蒸鍍掩模時(shí)，蒸鍍掩模被固定于支承框架。此時(shí)，蒸鍍掩模在被施加沿著蒸鍍掩模的長(zhǎng)度方向的張力的狀態(tài)下被固定于框架。蒸鍍掩模非常薄，因此在將蒸鍍掩模被固定于框架時(shí)，有時(shí)因張力的施加而導(dǎo)致蒸鍍掩模產(chǎn)生褶皺或扭曲等變形。因此，在使用蒸鍍掩模時(shí)，要求抑制蒸鍍掩模的變形。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種能夠抑制蒸鍍掩模的使用時(shí)的蒸鍍掩模的變形的蒸鍍掩模中間體及蒸鍍掩模。

用于解決上述問(wèn)題的蒸鍍掩模中間體包含用于制造蒸鍍掩模的金屬制片材，其中，所述蒸鍍掩模具有由一對(duì)第1邊緣部和一對(duì)第2邊緣部包圍的帶狀，各第2邊緣部比所述第1邊緣部短，且具備缺口，所述缺口具有向所述第1邊緣部延伸的方向即長(zhǎng)度方向凹陷的U字狀部分，所述U字狀部分的底部為曲線狀，所述蒸鍍掩模中間體具備：帶狀部，具有追隨所述蒸鍍掩模的邊緣的形狀；框狀部，具備具有追隨所述帶狀部的邊緣的形狀的內(nèi)側(cè)邊緣，且包圍所述帶狀部；以及多個(gè)跨接部，將所述帶狀部的所述邊緣與所述框狀部的所述內(nèi)側(cè)邊緣連接，所述帶狀部通過(guò)各跨接部的切斷而形成所述蒸鍍掩模，在所述帶狀部的所述邊緣設(shè)置有具有追隨所述缺口的所述底部的形狀的彎曲部，各跨接部與所述帶狀部的所述邊緣中的除所述彎曲部以外的部位連接。

用于解決上述問(wèn)題的蒸鍍掩模為包含金屬制片材的蒸鍍掩模中間體的帶狀部，其中，所述蒸鍍掩模中間體具備由一對(duì)第1邊緣部和一對(duì)第2邊緣部包圍的帶狀部、包圍該帶狀部的框狀部、以及與所述帶狀部及所述框狀部連接的多個(gè)跨接部，所述帶狀部通過(guò)所述跨接部的切斷而被從所述蒸鍍掩模中間體拆下，各第2邊緣部比所述第1邊緣部短，且具備缺口，所述缺口具有向所述第1邊緣部延伸的方向即長(zhǎng)度方向凹陷的U字狀部分，所述U字狀部分的底部為曲線狀，在所述蒸鍍掩模的邊緣設(shè)置有作為所述缺口的所述底部的彎曲部，通過(guò)所述跨接部的切斷，在所述蒸鍍掩模的所述邊緣中的除所述彎曲部以外的部位形成有跨接痕。

根據(jù)上述構(gòu)成，由帶狀部形成的蒸鍍掩模具備包含U字狀部分且U字狀部分的底部為曲線狀的缺口。因此，在通過(guò)對(duì)各第2緣部的缺口的兩側(cè)向一對(duì)第2緣部彼此遠(yuǎn)離的方向進(jìn)行拉拽而對(duì)蒸鍍掩模施加了張力的情況下，作用于缺口的力通過(guò)缺口所具有的形狀而被分散。由此，在使用蒸鍍掩模時(shí)，可抑制蒸鍍掩模產(chǎn)生褶皺或扭曲等變形。

另外，將帶狀部與框狀部連接的跨接部與帶狀部的邊緣中的除彎曲部以外的部位連接。因此，在通過(guò)切斷部的切斷而形成的蒸鍍掩模中，能夠抑制在缺口的彎曲部殘留有跨接部的一部分、或者彎曲部的一部分缺損。由此，彎曲部的形狀被維持為能夠使施加于蒸鍍掩模的張力分散的形狀。因此，在使用蒸鍍掩模時(shí)，可抑制蒸鍍掩模產(chǎn)生變形。

也可以是，在上述掩模中間體中，所述帶狀部的所述邊緣包括所述一對(duì)第1邊緣部及所述一對(duì)第2邊緣部，所述帶狀部的各第2邊緣部具有通過(guò)所述多個(gè)跨接部而與所述框狀部連接的連接部位。