[實用新型]真空腔室的密封結構

有效

• 申請號: 201921475113.1
• 申請日: 2019-09-05
• 公開（公告）號: CN210600478U
• 公開（公告）日: 2020-05-22
• 發明（設計）人: 黃奕宏;劉馳;秦超;尹國偉;劉瑤林;方明登;韓寧寧;曹術;陳錦杰;楊杰;莊慶波;林鋒;鄧慧建;黃露;徐星明;溫業鋒;陳浩;林偉龍
• 申請（專利權）人: 深圳市深科達智能裝備股份有限公司
• 主分類號: F16L5/10
• 分類號: F16L5/10
• 代理公司: 深圳市壹品專利代理事務所(普通合伙) 44356
• 代理人: 江文鑫;唐敏

1.真空腔室的密封結構，其特征在于，包括具有真空腔室的腔體以及用于穿設線纜的穿線件；所述腔體的側壁具有通孔，所述通孔連通所述真空腔室；所述穿線件插設在所述通孔中，所述穿線件上套設有第一密封圈，所述第一密封圈密封所述通孔與所述穿線件的外周之間的間隙；所述穿線件具有穿線孔，所述穿線孔連通所述真空腔室及所述腔體的外部；線纜穿過所述穿線孔，線纜上套設有第二密封圈，所述第二密封圈密封所述穿線孔與線纜之間的間隙。

2.如權利要求1所述的真空腔室的密封結構，其特征在于，所述第一密封圈具有朝向所述通孔的內壁面的外周面，所述第一密封圈的外周面與所述通孔的內壁面面貼合抵接。

3.如權利要求2所述的真空腔室的密封結構，其特征在于，所述第一密封圈具有朝向所述穿線件的內周面，所述第一密封圈的內周面與所述穿線件的外表面面貼合抵接。

4.如權利要求3所述的真空腔室的密封結構，其特征在于，所述穿線件朝外延伸至所述腔體的外部形成固定段，所述固定段封蓋所述通孔且固定在所述腔體上。

5.如權利要求4所述的真空腔室的密封結構，其特征在于，所述腔體具有朝向所述固定段的前抵接面，所述固定段具有朝向所述前抵接面的后抵接面，所述腔體的前抵接面與所述固定段的后抵接面面貼合抵接。

6.如權利要求5所述的真空腔室的密封結構，其特征在于，所述通孔為圓形通孔，所述穿線件嵌入所述通孔內的部分形成嵌入段，所述嵌入段呈圓柱狀。

7.如權利要求1-6任意一項所述的真空腔室的密封結構，其特征在于，所述第二密封圈具有朝向所述穿線孔的內壁面的外周面，所述第二密封圈的外周面與所述穿線孔的內壁面面貼合抵接。

8.如權利要求7所述的真空腔室的密封結構，其特征在于，所述第二密封圈具有朝向線纜的內周面，所述第二密封圈的內周面與線纜的外表面面貼合抵接。

9.如權利要求4-6任意一項所述的真空腔室的密封結構，其特征在于，所述穿線件的固定段上固定有緊固件，線纜穿過所述緊固件，所述緊固件固定線纜。

10.如權利要求9所述的真空腔室的密封結構，其特征在于，所述緊固件具有用于穿設線纜的連接孔，所述緊固件的連接孔與所述穿線件的穿線孔呈正對布置。