[實用新型]一種鋼帶鍍膜系統

有效

• 申請號: 201921468336.5
• 申請日: 2019-09-03
• 公開（公告）號: CN210620928U
• 公開（公告）日: 2020-05-26
• 發明（設計）人: 劉自然;盧威;陳元;郭碧云;何振;繆樸
• 申請（專利權）人: 肇慶宏旺金屬實業有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 廣州知順知識產權代理事務所(普通合伙) 44401
• 代理人: 彭志堅

1.一種鋼帶鍍膜系統，其特征在于，包括：真空鍍膜工藝室、導軌機構、以及靶材進出小車；所述導軌機構設置在所述真空鍍膜工藝室的前方，并與所述真空鍍膜工藝室呈垂直設置，所述靶材進出小車滑動安裝于所述導軌機構上；

所述靶材進出小車包括車身、前輪、后輪、以及靶材安裝機構；所述前輪安裝于所述車身的底部前端，所述后輪安裝于所述車身的底部后端，且所述前輪和所述后輪均位于所述導軌機構上；所述車身設有靶材固定部，所述靶材固定部垂直于所述車身設置，所述靶材安裝機構安裝于所述靶材固定部；

所述靶材安裝機構包括電機、連接法蘭盤、以及靶材安裝柱；所述電機安裝于所述靶材固定部，所述連接法蘭盤安裝于所述電機的輸出軸，所述靶材安裝柱與所述連接法蘭盤連接，且所述靶材安裝柱開設有固定孔。

2.如權利要求1所述的鋼帶鍍膜系統，其特征在于：所述導軌機構上滑動左右并排安裝有兩臺所述靶材進出小車。

3.如權利要求1所述的鋼帶鍍膜系統，其特征在于：所述靶材固定部安裝有多個所述靶材安裝機構。

4.如權利要求1所述的鋼帶鍍膜系統，其特征在于：所述真空鍍膜工藝室連接有抽真空機構，所述抽真空機構包括真空泵以及真空管；所述真空管連接所述真空泵以及所述真空鍍膜工藝室的內部。

5.如權利要求1所述的鋼帶鍍膜系統，其特征在于：所述真空鍍膜工藝室的外周安裝有冷卻水循環機構。