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[實用新型]一種單晶爐用分體式坩堝有效

專利信息
申請號: 201921462502.0 申請日: 2019-09-04
公開(公告)號: CN211921739U 公開(公告)日: 2020-11-13
發明(設計)人: 劉有益;楊志;許建;陳培杰;王建平;周澤;郭志榮;王林;王永青 申請(專利權)人: 內蒙古中環光伏材料有限公司
主分類號: C30B15/10 分類號: C30B15/10
代理公司: 天津諾德知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 12213 代理人: 欒志超
地址: 010070 內蒙古自*** 國省代碼: 內蒙古;15
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 單晶爐用分 體式 坩堝
【說明書】:

本實用新型提供一種單晶爐用分體式坩堝,包括堝體和堝托,所述堝體與所述堝托同軸設置,所述堝托置于所述堝體下端部,且所述堝托與所述堝體可拆卸連接。本實用新型設計的分體式坩堝,解決了現有技術中不易取出堝底料,且拆清石英坩堝困難的技術問題,最大限度地降低了碳碳坩堝堝壁的損傷程度,延長碳碳坩堝的使用壽命,降低了拆清時間,降低生產成本。

技術領域

本實用新型屬于單晶爐設備技術領域,尤其是涉及一種單晶爐用分體式坩堝。

背景技術

坩堝是直拉單晶爐最重要的熱場件之一,坩堝的主要作用是保護石英坩堝在高溫下不發生較大形變,使軟化的石英坩堝在拉晶過程中維持穩定狀態,保證單晶正常生長,保證單晶成晶率。

當前單晶爐所用的坩堝材質主要為碳碳復合材料,其結構為一體式結構,在碳碳坩堝內部設有用于盛放硅料的石英坩堝。當石英坩堝冷卻后,由于熱脹冷縮的緣故,石英坩堝與碳碳坩堝的堝體緊密接觸,在拆清工序時取出石英坩堝非常困難,需使用特制工具對石英坩堝進行破碎處理,而在破碎過程中易損壞碳碳坩堝的堝體,對炭炭坩堝堝壁沖擊力大,持續錘擊會對碳碳坩堝造成機械損傷,降低碳碳坩堝的使用壽命,進而會增加熱場的使用成本。

發明內容

本實用新型要解決的問題是提供一種單晶爐用分體式坩堝,解決了現有技術中不易取出堝底料,且拆清石英坩堝困難的技術問題,最大限度地降低了碳碳坩堝堝壁的損傷程度,延長碳碳坩堝的使用壽命,降低了拆清時間,降低生產成本。

為解決上述技術問題,本實用新型采用的技術方案是:

一種單晶爐用分體式坩堝,包括堝體和堝托,所述堝體與所述堝托同軸設置,所述堝托置于所述堝體下端部,且所述堝托與所述堝體可拆卸連接。

進一步的,所述堝體為圓筒柱結構,所述堝體上端口內徑大于所述下端口最小內徑。

進一步的,所述堝體下端口最小內徑是所述上端口內徑的80-85%。

進一步的,所述堝體下端面為平整平面。

進一步的,所述堝體下端內側面為圓錐臺面,所述圓錐臺面的小徑面靠近所述堝體上端面設置,所述圓錐臺面大徑面遠離所述堝體上端面設置。

進一步的,所述圓錐臺面橫截面夾角為90°。

進一步的,在所述堝托上端沿外側設有凸臺面,所述凸臺面與所述堝體下端面相適配。

進一步的,所述堝托上端面中心為凹型圓弧面,所述圓弧面與所述堝體下端內側面圓弧連接,且所述堝托中心高度小于所述堝托最外緣高度。

進一步的,所述堝托下端面設有一體設置的底座,所述底座中部設有開口朝外設置的凹槽。

進一步的,所述底座外圓直徑小于所述堝托上端口最小內徑。

與現有技術相比,本實用新型設計的分體式坩堝,使得堝體下部開設一圓型開口,增大堝體的應力釋放面積,從而使石英坩堝內的底料與碳碳坩堝更易于分離,最大限度地降低拆卸難度;同時分體式設計的結構更易于拆卸清理冷卻后的廢舊石英坩堝,每拆卸一個石英坩堝,工時提高率近85%左右;降低了在拆卸石英坩堝時對碳碳坩堝內壁的錘擊,降低了碳碳坩堝內壁的擊打損傷程度,進而可延長碳碳坩堝的使用壽命。

附圖說明

圖1是本實用新型一實施例的一種單晶爐用分體式坩堝的結構示意圖;

圖2是本實用新型一實施例的堝體的結構示意圖;

圖3是本實用新型一實施例的A的放大示意圖;

圖4是本實用新型一實施例的堝托的結構示意圖。

圖中:

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