[實用新型]一種大尺寸單晶硅方棒磨削加工裝置有效
| 申請號: | 201921460811.4 | 申請日: | 2019-09-04 |
| 公開(公告)號: | CN210633438U | 公開(公告)日: | 2020-05-29 |
| 發明(設計)人: | 匡文軍;馬洋;郭鑫樂;梁志慧;藺永生;貢藝強;史彥龍;高潤飛;王林;王永青 | 申請(專利權)人: | 內蒙古中環光伏材料有限公司 |
| 主分類號: | B24B19/22 | 分類號: | B24B19/22;B24B27/00 |
| 代理公司: | 天津諾德知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 欒志超 |
| 地址: | 010070 內蒙古自*** | 國省代碼: | 內蒙古;15 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 尺寸 單晶硅 磨削 加工 裝置 | ||
本實用新型提供一種大尺寸單晶硅方棒磨削加工裝置,包括對稱設置在硅方棒長度方向軸線兩側的第一砂輪和第二砂輪,所述第一砂輪和所述第二砂輪的中心軸線平行于或垂直于所述硅方棒長度方向的軸線。本實用新型設計的磨削加工方法,尤其是適用于橫截面對角尺寸為230?310mm的大尺寸硅方棒單晶的磨削加工,可降低硅方棒表面出現的砂輪印,硅方棒表面粗糙度合格且一致性較好,保證硅方棒產品質量,提高硅方棒的合格率。
技術領域
本實用新型屬于太陽能硅片金剛石線切割技術領域,尤其是涉及一種大尺寸單晶硅方棒磨削加工裝置。
背景技術
目前太陽能用硅片市場中,大尺寸硅片的單位面積的發電量更適應于現有電池端技術的市場需求,在加工硅片之前,需要先將硅圓棒去邊皮后形成毛坯方棒,再對毛坯方棒進行磨削加工,磨削加工的尺寸是硅片加工是否精準的基礎,故對毛坯硅方棒的磨削控制非常重要。而現有方棒是由直徑尺寸為230mm以下的圓棒加工而成的,但按照目前輔料的規格(砂輪)和加工方法,無法適應直徑為230-310mm的大尺寸硅圓棒單晶的磨削加工,會造成硅方棒表現異常,硅方棒表面出現砂輪印,以及硅方棒表面粗糙度異常等技術問題。
發明內容
本實用新型要解決的問題是提供一種大尺寸單晶硅方棒磨削加工裝置,尤其是適用于橫截面對角尺寸為230-310mm的大尺寸硅方棒單晶的磨削加工,可降低硅方棒表面出現的砂輪印,硅方棒表面粗糙度合格且一致性較好,保證硅方棒產品質量,提高硅方棒的合格率。
為解決上述技術問題,本實用新型采用的技術方案是:
一種大尺寸單晶硅方棒磨削加工裝置,包括對稱設置在硅方棒長度方向軸線兩側的第一砂輪和第二砂輪,所述第一砂輪和所述第二砂輪的中心軸線平行于或垂直于所述硅方棒長度方向的軸線。
進一步的,所述第一砂輪與所述第二砂輪的端面與所述硅方棒端面并排設置。
進一步的,所述第一砂輪置于所述硅方棒中心位置一側的上方;所述第二砂輪置于所述硅方棒中心位置另一側的下方。
進一步的,所述第一砂輪與所述第二砂輪的中心連線傾斜設置且貫穿所述硅方棒的對角線;所述第一砂輪與所述第二砂輪中心高度差為105-115mm。
進一步的,所述第一砂輪與所述第二砂輪的端面與所述硅方棒的側平面平行設置。
進一步的,所述第一砂輪與所述第二砂輪位于同一水平高度;且所述第一砂輪與所述第二砂輪均相對于所述硅方棒長度方向的軸線對稱設置。
進一步的,所述砂輪包括粗砂輪和精砂輪,所述粗砂輪和所述精砂輪的厚度均為40mm。
進一步的,所述粗砂輪粒度為150-250目,粗砂輪直徑為230-270mm。
進一步的,所述精砂輪粒度為800-1000目,所述精砂輪直徑為250-290mm。
進一步的,所述硅方棒橫截面為正四邊形結構,所述硅方棒橫截面的對角尺寸為230-310mm。
本實用新型提供一種大尺寸單晶硅方棒磨削加工裝置,尤其是適用于橫截面對角尺寸為230-310mm的大尺寸硅方棒單晶的磨削加工,可降低硅方棒表面出現的砂輪印,硅方棒表面粗糙度合格且一致性較好,保證硅方棒產品質量,提高硅方棒的合格率。
附圖說明
圖1是本實用新型一實施例的一種大尺寸單晶硅方棒磨削加工裝置的流程圖;
圖2是本實用新型一實施例的加工硅方棒倒角的結構示意圖;
圖3是本實用新型一實施例的加工硅方棒平面的結構示意圖。
圖中:
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