[實用新型]一種多晶硅鑄錠爐矢量噴氣裝置

有效

• 申請號: 201921456637.6
• 申請日: 2019-09-04
• 公開（公告）號: CN210394593U
• 公開（公告）日: 2020-04-24
• 發明（設計）人: 楊秀凡;張殿喜;竇忠宇;郭中正;閆萬珺
• 申請（專利權）人: 安順學院
• 主分類號: C30B28/06
• 分類號: C30B28/06;C30B29/06
• 代理公司: 貴陽索易時代知識產權代理事務所(普通合伙) 52117
• 代理人: 管寶偉

1.一種多晶硅鑄錠爐矢量噴氣裝置，其特征在于：包括鑄錠爐(1)和氬氣進氣管(2)，所述鑄錠爐(1)頂端設有支撐架(3)，所述支撐架(3)頂端一側豎直方向固定設有單活塞桿雙作用氣缸(4)，所述氬氣進氣管(2)套設在一噴氣管(5)上，所述噴氣管(5)一側水平方向固定設有連接桿(6)，所述連接桿(6)遠離噴氣管(5)的一端與單活塞桿雙作用氣缸(4)的伸縮桿相連，所述噴氣管(5)底端連接有交換箱(7)，所述交換箱(7)內部底端上設有電機(8)，所述電機(8)輸出軸通過聯軸器連接有轉軸，所述轉軸上套設有第一齒輪，所述交換箱(7)內部底端開設有通孔，所述通孔內設有軸承(9)，一連接管(12)穿過軸承(9)的孔中，位于交換箱(7)內的連接管(12)上套設有第二齒輪，所述第二齒輪嚙合于第一齒輪，所述鑄錠爐(1)頂端開設有孔，所述連接管(12)穿過鑄錠爐(1)頂端的孔，所述連接管(12)底端上設有氬氣噴頭(10)。

2.根據權利要求1所述的一種多晶硅鑄錠爐矢量噴氣裝置，其特征在于：所述鑄錠爐(1)頂端孔的上下兩側分別設有橡膠密封圈。

3.根據權利要求1或2所述的一種多晶硅鑄錠爐矢量噴氣裝置，其特征在于：所述氬氣進氣管(2)遠離噴氣管(5)的一側上設有一氬氣流量計(11)。

4.根據權利要求3所述的一種多晶硅鑄錠爐矢量噴氣裝置，其特征在于：所述氬氣噴頭(10)為扇形氬氣噴頭。

5.根據權利要求4所述的一種多晶硅鑄錠爐矢量噴氣裝置，其特征在于：所述電機(8)為微型電機。