[實用新型]一種激光式線位移傳感器校準裝置

有效

• 申請號: 201921453003.5
• 申請日: 2019-09-03
• 公開（公告）號: CN210603199U
• 公開（公告）日: 2020-05-22
• 發明（設計）人: 鄧玉湖;曾慶威;鄭振強;林燮佳;張智琪;黃曉冬;王麗紅;羅秋華;楊圖強
• 申請（專利權）人: 龍巖市計量所
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02
• 代理公司: 廈門市首創君合專利事務所有限公司 35204
• 代理人: 李欽海

1.一種激光式線位移傳感器校準裝置，其特征是：它包括臺架(1)、臺板(2)、精密滾珠絲桿組件(3)、伺服電機(4)、滑塊安裝板(5)、滑塊基座(6)、彈性固定夾具(8)、門框干涉鏡安裝座(9)、彈性活動夾具(11)、組合滑臺(12)、連接板(13)、下位機(16)、伺服控制器(17)、激光干涉儀、上位機(18)、傳感器安裝座(501)、3#延長連接板(502)、接收板(503)；所述臺架(1)作為校準裝置的支撐框架采用型材拼裝而成，其下端安裝有多個橡膠腳墊直接與地板或其它臺面接觸，中間設有儲物空間用于安裝下位機(16)和伺服控制器(17)，其上端固定安裝有臺板(2)；所述臺板(2)的臺面中心線上從左到右分別固定安裝有所述組合滑臺(12)、精密滾珠絲桿組件(3)和門框干涉鏡安裝座(9)；所述精密滾珠絲桿組件(3)上的滑塊安裝板(5)上固定安裝著滑塊基座(6)；所述傳感器安裝座(501)固定安裝在組合滑臺(12)上方的連接板(13)，傳感器安裝座(501)上安裝有彈性活動夾具(11)，被校的激光式位移傳感器(500)平放在傳感器安裝座(501)上并用定位銷來定位，定位好后用彈性活動夾具(11)快速夾緊；3#延長連接板(502)一端用螺釘固定在滑塊基座(6)上，另一端安裝接收板(503)，精密滾珠絲桿組件(3)的滑塊直線運動帶動被校線位移傳感器產生位移；所述激光干涉儀用于測量精密滾珠絲桿組件(3)上的滑塊位移變化量，作為標準位移與被校的線位移傳感器位移進行直接比較，從而生成該示值誤差，該激光干涉儀的反射鏡(7)采用彈性固定夾具(8)夾緊安裝；所述組合滑臺(12)可以實現行程≥±6.5mm的X軸、Y軸、水平Z軸以及360度旋轉軸共四維方向的運動，通過調整該組合滑臺(12)的四維位置可以實現激光干涉儀的光軸處在被校位移傳感器測量軸的延長線上，以遵循阿貝原則，減少阿貝誤差；所述伺服電機(4)通過聯軸器與精密滾珠絲桿組件(3)的滾珠絲桿連接，通過所述伺服控制器(17)控制伺服電機(4)的運動情況；所述臺架(1)的外側還放置有所述上位機(18)，該上位機(18)通過數據線分別連接激光干涉儀和下位機(16)，下位機(16)與伺服控制器(17)保持通訊連接，該伺服控制器(17)與伺服電機(4)通過電子線連接；所述上位機(18)安裝有校準軟件，該校準軟件能夠根據用戶的設置按照JJF 1305-2011線位移傳感器校準規范的要求自動下達控制指令以控制被校線位移傳感器產生的位移量，并采集激光干涉儀測量出的位移數據，實現閉環控制，被校線位移傳感的位移與校準軟件上的標準位移差即為該線位移傳感器的誤差；同理即可完成該線位移傳感器的線性度、回程誤差、重復性技術指標的校準。

2.如權利要求1所述激光式線位移傳感器校準裝置，其特征是：所述臺板(2)為長方體結構，其厚度為10mm～20mm，平面度≤0.03mm，兩個大面的平行度≤0.05mm。

3.如權利要求1所述激光式線位移傳感器校準裝置，其特征是：所述滑塊基座(6)為“凸”字形結構，該滑塊基座(6)還加工有與干涉鏡孔同軸的定位通孔，在滑塊基座(6)的三個平行平面上分別安裝著反射鏡(7)、彈性固定夾具(8)和3#延長連接板502。

4.如權利要求1所述激光式線位移傳感器校準裝置，其特征是：所述彈性活動夾具(11)由固定軸和彈性片組成，固定軸的下端是螺牙結構，上端為光軸，并在光軸部分開有通孔用于鎖緊固定軸；彈性片由彈性鈑金折彎而成，并加工有通孔用以套在固定軸上并可在光軸部位上下移動，當調整好彈性片的位置后拉起彈性片即可夾緊被夾物體。

5.如權利要求1所述激光式線位移傳感器校準裝置，其特征是：所述彈性固定夾具(8)由鎖緊軸與彈性片套裝而成，鎖緊軸將整個彈性固定夾具(8)鎖緊在滑塊基座(6)上，彈性片由彈性鈑金折彎而成并只能水平方向旋轉，拉起彈性片即可夾緊被夾物體。