[實用新型]高強度石英管連接接頭

有效

• 申請號: 201921444798.3
• 申請日: 2019-09-02
• 公開（公告）號: CN210600526U
• 公開（公告）日: 2020-05-22
• 發明（設計）人: 高翔鷹;張少陽;裴文龍;陳晨
• 申請（專利權）人: 蘇州芯矽電子科技有限公司
• 主分類號: F16L19/02
• 分類號: F16L19/02
• 代理公司: 南京艾普利德知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 32297
• 代理人: 陸明耀

本實用新型揭示了一種高強度石英管連接接頭，包括具有中空腔的連接公頭，所述中空腔依次由可將PFA管鎖止的第一空腔、第二空腔以及可將石英管鎖止的第三空腔組成，所述連接公頭遠離所述PFA管的一端上設有用以將所述石英管鎖止在所述第三空腔上的鎖止機構，所述鎖止機構由所述連接公頭和與所述連接公頭螺紋連接的連接母頭相互配合將其限位。本實用新型的有益效果主要體現在：卡套與石英管熱壓配合，待冷卻后兩者緊緊配合成一體，大大提高連接的可靠性，杜絕液體流出的現象。另外，拆卸更換更為簡單，擰動連接公頭和連接母頭即可實現快速拆卸更換，極大地提高工作效率。

技術領域

本實用新型涉及半導體技術領域，具體地，涉及一種半導體材料清洗設備的連接接頭，更具體地，涉及一種石英管連接接頭。

背景技術

在半導體行業中，硅片的清洗通常在石英槽中進行。如中國專利CN201110198571.7揭示的一種硅片清洗用雙層石英槽，包括內槽和外槽兩部分，其中，內槽里面放置有待清洗的硅片，外槽和內槽的底部開設有排液口，將硅片清洗后的廢液從該排液口排出；外槽和內槽之間也設置有清洗液循環管路。由于用于硅片清洗的清洗液一般是酸性，所以石英槽的排液口及循環管路的管口也都是采用的是石英管。現有的連接方式是在石英管的外側設有外螺紋，待連接的管路與石英管之間為螺紋連接，但是螺紋擰緊的時候會對石英管產生壓力，石英管因此而破碎，導致整個石英槽報廢，造成極大的浪費。

實用新型內容

本實用新型的目的是克服現有技術存在的不足，提供一種高強度石英管連接接頭。

本實用新型的目的通過以下技術方案來實現：

一種高強度石英管連接接頭，包括具有中空腔的連接公頭，所述中空腔依次由可將PFA管鎖止的第一空腔、第二空腔以及可將石英管鎖止的第三空腔組成，所述連接公頭遠離所述PFA管的一端上設有用以將所述石英管鎖止在所述第三空腔上的鎖止機構，所述鎖止機構由所述連接公頭和與所述連接公頭螺紋連接的連接母頭相互配合將其限位。

優選的，所述鎖止機構包括緊套設在所述石英管上的一卡套，所述卡套的內壁上固設有與其一體的凸環，所述石英管上設有可容置所述凸環的凹環。

優選的，所述連接公頭與所述卡套貼近的端面上設有一缺口，所述卡套至少部分延伸置于所述缺口內與所述連接公頭緊貼。

優選的，所述連接母頭呈凹框結構，其連接端上設有與所述連接公頭的陽螺紋相匹配的陰螺紋。

優選的，所述連接母頭的限位端上設有與一與所述石英管直徑相同的貫穿孔。

優選的，所述卡套遠離所述連接公頭的端面為斜面，所述限位端上設有一與所述斜面相匹配的斜槽。

優選的，所述石英管和卡套為熱壓配合連接。

優選的，所述卡套、連接母頭以及連接公頭均為PFA件。

本實用新型的有益效果主要體現在：卡套與石英管熱壓配合，待冷卻后兩者緊緊配合成一體，大大提高連接的可靠性，杜絕液體流出的現象。另外，拆卸更換更為簡單，擰動連接公頭和連接母頭即可實現快速拆卸更換，極大地提高工作效率。

附圖說明

下面結合附圖對本實用新型技術方案作進一步說明：

圖1：本實用新型的剖視圖。

具體實施方式

以下將結合附圖所示的具體實施方式對本實用新型進行詳細描述。但這些實施方式并不限于本實用新型，本領域的普通技術人員根據這些實施方式所做出的結構、方法、或功能上的變換均包含在本實用新型的保護范圍內。

不限于本實用新型，本領域的普通技術人員根據這些實施方式所做出的結構、方法、或功能上的變換均包含在本實用新型的保護范圍內。