[實(shí)用新型]一種用于檢驗(yàn)鍍膜產(chǎn)品的無塵棚

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921444258.5
• 申請(qǐng)日: 2019-09-02
• 公開（公告）號(hào): CN210560735U
• 公開（公告）日: 2020-05-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 袁小夫;舒本劍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 安徽安合鑫光電科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/56
• 分類號(hào): C23C14/56
• 代理公司: 蘇州彰尚知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32336
• 代理人: 曹恒濤

1.一種用于檢驗(yàn)鍍膜產(chǎn)品的無塵棚，其包括：無塵棚(1)、潔凈操作臺(tái)(4)和數(shù)臺(tái)FFU(2)；FFU(2)設(shè)置連接在無塵棚(1)的頂端；無塵棚(1)包括龍骨(11)和玻璃塊(12)，玻璃塊(12)鑲嵌于龍骨(11)組成的框架結(jié)構(gòu)中，所述無塵棚(1)的一側(cè)壁設(shè)有門簾片(3)，其特征在于：無塵棚(1)和FFU(2)設(shè)置在鍍膜無塵室內(nèi)，所述潔凈操作臺(tái)(4)設(shè)置在無塵棚(1)內(nèi)。

2.如權(quán)利要求1所述的用于檢驗(yàn)鍍膜產(chǎn)品的無塵棚，其特征在于：FFU(2)的出風(fēng)口(6)設(shè)置在無塵棚頂部龍骨(11)框架架構(gòu)內(nèi)。

3.如權(quán)利要求1所述的用于檢驗(yàn)鍍膜產(chǎn)品的無塵棚，其特征在于：龍骨(11)的材質(zhì)為鋁鋼板。

4.如權(quán)利要求1所述的用于檢驗(yàn)鍍膜產(chǎn)品的無塵棚，其特征在于：門簾片(3)為N片塑膠門簾片(3)，門簾片(3)一端固定在無塵棚(1)頂部龍骨(11)上，另一端自由垂直于重力方向，并且每兩片門簾片(3)均有一半相互緊密重疊。

5.如權(quán)利要求1所述的用于檢驗(yàn)鍍膜產(chǎn)品的無塵棚，其特征在于：無塵棚(1)為一個(gè)單獨(dú)的空間結(jié)構(gòu)。

6.如權(quán)利要求1所述的用于檢驗(yàn)鍍膜產(chǎn)品的無塵棚，其特征在于：FFU(2)的數(shù)量N為4～8個(gè)。

7.如權(quán)利要求1所述的用于檢驗(yàn)鍍膜產(chǎn)品的無塵棚，其特征在于：玻璃塊(12)為鋼絲玻璃，包括鋼絲(122)和玻璃(121)，在玻璃(121)的型腔內(nèi)置鋼絲(122)網(wǎng)布結(jié)構(gòu)。

8.如權(quán)利要求1所述的用于檢驗(yàn)鍍膜產(chǎn)品的無塵棚，其特征在于：無塵棚(1)左右兩側(cè)壁底部各裝有一個(gè)回風(fēng)口(5)，空氣通過FFU(2)進(jìn)行過濾后往下流動(dòng)至回風(fēng)口(5)，通過回風(fēng)口(5)抽送至FFU(2)進(jìn)行循環(huán)再過濾。

9.如權(quán)利要求1所述的用于檢驗(yàn)鍍膜產(chǎn)品的無塵棚，其特征在于：無塵棚(1)的主框架龍骨(11)間焊接均為倒角焊接。