[實(shí)用新型]一種新型MASK框

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921444102.7
• 申請(qǐng)日: 2019-09-02
• 公開（公告）號(hào): CN210945754U
• 公開（公告）日: 2020-07-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 梅德忠
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州德潤(rùn)達(dá)電子科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/04
• 分類號(hào): C23C14/04
• 代理公司: 宿遷市永泰睿博知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32264
• 代理人: 劉慧

本實(shí)用新型公開了一種新型MASK框，包括MASK框本體，其特征在于：所述MASK框本體相鄰兩側(cè)邊垂直設(shè)置，所述MASK框本體包括外層邊框和內(nèi)層邊框，所述MASK框本體為分割型框，由若干單個(gè)部分框體組裝而成，組裝處留有應(yīng)力槽，所述外層邊框和內(nèi)層邊框之間采用組合拼接的方式，所述外層邊框?yàn)殁伈馁|(zhì)，所述內(nèi)層邊框?yàn)殇X合金材質(zhì)。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于：設(shè)有應(yīng)力槽來(lái)降低MASK框內(nèi)應(yīng)力，使得整體變形量降低，再生使用時(shí)更容易矯正；內(nèi)層邊框采用鈦材質(zhì)，可降低MASK框邊緣消耗，同時(shí)外層邊框仍采用鋁合金材質(zhì)，降低成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種新型MASK框。

背景技術(shù)

真空鍍膜是指在高真空的條件下加熱金屬或非金屬材料，使其蒸發(fā)并凝結(jié)于鍍件表面而形成薄膜的一種方法，主要有真空蒸發(fā)鍍、真空濺射鍍、真空粒子鍍等。其中真空濺射鍍是用帶電粒子轟擊靶材，加速的離子轟擊固體表面，使靶材原子從表面逸出飛向基板，沉積成薄膜。

在真空濺射鍍膜過(guò)程中，會(huì)出現(xiàn)如下問(wèn)題：1、靶材原子飛向基板沉積成薄膜時(shí)，同時(shí)靶材原子也會(huì)打在MASK框上，使MASK框產(chǎn)生壓應(yīng)力，改變MASK框的形狀，常常多次使用后變需要更換。2、靶材原子沉積在MASK框上時(shí)，需要取出MASK進(jìn)行清洗，通常酸洗過(guò)后，MASK框會(huì)消耗，尤其在MASK框邊緣處易沉積，酸洗過(guò)后，MASK框邊緣處會(huì)消耗較大，常需要更換，使用壽命降低，成本增加。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供了一種新型MASK框，降低了MASK邊緣處消耗，同時(shí)再生使用時(shí)更容易矯正MASK框。

本實(shí)用新型的上述目的通過(guò)以下的技術(shù)方案得以實(shí)現(xiàn)：一種新型MASK框，包括MASK框本體，所述MASK框本體相鄰兩側(cè)邊垂直設(shè)置，所述MASK框本體包括外層邊框和內(nèi)層邊框，所述外層邊框和內(nèi)層邊框之間采用組合拼接的方式，所述外層邊框?yàn)殁伈馁|(zhì)，所述內(nèi)層邊框?yàn)殇X合金材質(zhì)。

進(jìn)一步的，所述MASK框本體為分割型框，由若干單個(gè)部分框體組裝而成，其中在組裝處一側(cè)的正梯形部分和另一側(cè)的倒梯形部分拼接，形成方形結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步的，所述組裝處留有應(yīng)力槽。

進(jìn)一步的，所述應(yīng)力槽的槽寬介于4-6mm之間。

進(jìn)一步的，所述應(yīng)力槽的槽寬為6mm。

進(jìn)一步的，其中一對(duì)平行設(shè)置的所述外層邊框上設(shè)有方形缺口，方形缺口處設(shè)有安裝條，安裝條與外層邊框相連，安裝條兩側(cè)設(shè)有螺孔，可配合承重螺栓固定MASK框。

進(jìn)一步的，所述安裝條高度低于外層邊框高度。

進(jìn)一步的，所述內(nèi)層邊框下部設(shè)有內(nèi)層邊框支架，內(nèi)層邊框支架與內(nèi)層邊框垂直，內(nèi)層邊框支架上設(shè)有若干通孔，可配合帶通分孔內(nèi)六角低壓頭螺栓來(lái)固定基板。

本實(shí)用新型的有益效果是：1.通過(guò)應(yīng)力槽來(lái)降低MASK框內(nèi)應(yīng)力，使得整體變形量降低，再生使用時(shí)更容易矯正；2內(nèi)層邊框采用鈦材質(zhì)，可降低MASK框邊緣消耗，同時(shí)外層邊框仍采用鋁合金材質(zhì)，降低成本。

附圖說(shuō)明：

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實(shí)用新型的應(yīng)力槽的示意圖；

圖3是本實(shí)用新型的方形缺口的示意圖；

圖4是本實(shí)用新型的局部放大圖；

圖中：1MASK框本體、2外層邊框、3內(nèi)層邊框、4方形缺口、5內(nèi)層邊框支架、6應(yīng)力槽、7正梯形部分、8倒梯形部分、9安裝條、10螺孔、11通孔。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的描述。