[實用新型]粉末棒沉積設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921442847.X
• 申請日: 2019-08-30
• 公開（公告）號: CN211078918U
• 公開（公告）日: 2020-07-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 錢宜剛;吳椿烽;沈一春;薛馳;薛濟萍
• 申請（專利權(quán)）人: 中天科技精密材料有限公司;江蘇中天科技股份有限公司
• 主分類號: C03B37/014
• 分類號: C03B37/014
• 代理公司: 深圳市賽恩倍吉知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44334
• 代理人: 陳海云

本實用新型提供一種粉末棒沉積設(shè)備，包括噴燈、沉積室、靶棒及吊桿，所述靶棒的一端連接于所述吊桿端部，所述靶棒伸入所述沉積室，所述噴燈噴射反應(yīng)氣流沉積粉末附著于靶棒上，所述沉積室連通于上部沉積腔體，所述上部沉積腔體包括同軸設(shè)置的上部沉積腔體內(nèi)層和上部沉積腔體外層及蓋設(shè)在遠離沉積室的端部的上部沉積腔體端蓋，其中上部沉積腔體內(nèi)層用以容納粉末棒上提空間，上部沉積腔體外層用于外部氣體的灌入。本實用新型設(shè)計將上部腔體分為內(nèi)外兩層，有效將粉末棒容納空間和氣體進入腔體分離，避免隨著粉末棒增加，容納空間變小，造成沉積腔體中的氣流紊亂，粉末棒的棒徑產(chǎn)生波動。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及光通信技術(shù)領(lǐng)域，特別是指一種粉末棒沉積設(shè)備。

背景技術(shù)

在未來400G及以上傳輸系統(tǒng)中，降低光纖損耗和獲得大有效面積是光纖制造領(lǐng)域的重要課題之一。對于石英光纖，在600nm～1600nm的衰減主要來自瑞利散射，由瑞利散射所引起的衰減a_R可由下式計算：a_R＝R/λ⁴+B。其中，λ為波長，R為瑞利散射系數(shù)(dB/km/μm⁴)，B為對應(yīng)常數(shù)。

為了降低光纖損耗，最主要的工藝是降低芯層摻鍺或純硅芯設(shè)計，通過降低光纖摻雜濃度，可以有效降低光纖的瑞利散射。但是光纖的瑞利散射R除了受摻雜濃度Rc的影響，還受密度波動Rd影響。其表達式R＝Rc+Rd。傳統(tǒng)工藝中采用的純硅芯設(shè)計容易引起芯層與包層之間粘度不匹配而引起密度波動，需要降低芯層摻鍺的同時改善芯層與包層之間的粘度匹配，才有可能降低光纖損耗。

如何能夠通過少量摻雜實現(xiàn)改善各層粘度匹配達到折射率結(jié)構(gòu)設(shè)計，又可以調(diào)控生產(chǎn)過程棒徑波動獲得大有效面積，低衰減、低損耗等綜合性能好的光纖是本實用新型解決的主要技術(shù)問題。

實用新型內(nèi)容

鑒于以上內(nèi)容，有必要提供一種粉末棒沉積設(shè)備。

本實用新型提供的技術(shù)方案為：一種粉末棒沉積設(shè)備，包括噴燈、沉積室、靶棒及吊桿，所述靶棒的一端連接于所述吊桿端部，所述靶棒伸入所述沉積室，所述噴燈噴射反應(yīng)氣流沉積粉末附著于靶棒上，所述沉積室連通于上部沉積腔體，所述上部沉積腔體包括同軸設(shè)置的上部沉積腔體內(nèi)層和上部沉積腔體外層及蓋設(shè)在遠離沉積室的端部的上部沉積腔體端蓋，其中上部沉積腔體內(nèi)層用以容納粉末棒上提空間，上部沉積腔體外層用于外部氣體的灌入。

進一步的，上部沉積腔體端蓋對應(yīng)于上部沉積腔體外層的部分設(shè)有不少于10個氣孔，用以控制進氣氣流大小。

進一步的，所述氣孔的總面積占上部沉積腔體端蓋對應(yīng)于上部沉積腔體外層的部分的面積的30％-60％。

進一步的，所述靶棒包括空心靶棒和實心靶棒，所述空心靶棒的第一端部連接于所述吊桿上；所述實心靶棒的第一端部穿插固定在所述空心靶棒的第二端部的內(nèi)孔中，所述實心靶棒的第二端部為自由端，所述靶棒在所述吊桿的帶動下轉(zhuǎn)動或移動；所述空心靶棒第一端部和所述實心靶棒的第二端部之間的表面用于沉積形成附接于所述空心靶棒和所述實心靶棒上的粉末棒，沉積完成后，所述實心靶棒的第二端部用作夾持部，在外力作用下使得所述實心靶棒抽出以形成附接所述空心靶棒的空心粉末棒。

進一步的，所述空心靶棒的內(nèi)徑與所述實心靶棒的棒徑相等。

進一步的，所述空心靶棒與所述實心靶棒的外徑相等。

進一步的，所述空心靶棒第一端部的內(nèi)徑大于所述空心靶棒的內(nèi)徑，且所述實心靶棒的第二端部的外徑大于所述實心靶棒的棒徑。

進一步的，所述空心靶棒與所述實心靶棒的外徑相等，所述空心靶棒第一端部的厚度為所述空心靶棒的厚度的一半。

進一步的，所述空心靶棒的第一端部為堿金屬及其載氣的進口，所述空心粉末棒的自由端的內(nèi)孔為堿金屬及其載氣的出口。

進一步的，所述空心靶棒的長度小于所述實心靶棒的長度。