[實用新型]一種平面度檢測儀的檢測裝置

有效

• 申請號: 201921442184.1
• 申請日: 2019-08-30
• 公開（公告）號: CN210603150U
• 公開（公告）日: 2020-05-22
• 發明（設計）人: 袁光榮
• 申請（專利權）人: 智龍自動化設備（深圳）有限公司
• 主分類號: G01B5/28
• 分類號: G01B5/28
• 代理公司: 深圳市深可信專利代理有限公司 44599
• 代理人: 劉昌剛

本實用新型公開了一種平面度檢測儀的檢測裝置，包括用于支撐的支撐立柱、設有探針的檢測塊以及用于驅動檢測塊的驅動電機，所述檢測塊與驅動電機之間設有自動調節的橫向進給裝置和手動調節的豎向進給裝置。通過設置在支撐立柱上的直線導軌帶動探針橫向運動，并且通過設置在滑塊上的微調手柄與進給塊帶動探針豎向運動，探針在橫向豎向靈活運動，能夠快速定位至待檢工件的合適位置，同時手動調節的微調手柄在豎直方向實現微進給，使探針的定位精度更高，檢測結果更加準確。

技術領域

本實用新型涉及一種檢測裝置，尤其是一種平面度檢測儀的檢測裝置。

背景技術

平面度是指基片具有的宏觀凹凸高度相對理想平面的偏差，平面度測量是指被測實際表面對其理想平面的變動量。對平面度測量一般用平面度測量儀，現有技術中的平面度測量儀結構較為簡單，不能靈活地對探針的位置進行調節。現有技術中也有一些設有可調節探針的平面度檢測裝置，但對探針的調節靈活度和精準度不夠，無法達到探針的快速精準定位。

實用新型內容

為了克服現有技術的不足，本實用新型提供一種利用直線導軌對平面度檢測儀的探針進行自動橫向調節和利用微調手柄對探針進行手動豎向調節的平面度檢測儀檢測裝置。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：一種平面度檢測儀的檢測裝置，包括用于支撐的支撐立柱、設有探針的檢測塊以及用于驅動檢測塊的驅動電機，所述檢測塊與驅動電機之間設有自動調節的橫向進給裝置和手動調節的豎向進給裝置。

作為上述技術方案的改進，所述橫向進給裝置包括滾珠絲杠、直線滑軌和滑塊，所述滾珠絲杠與驅動電機連接，通過驅動電機驅動滑塊在直線滑軌上運動。

作為上述技術方案的進一步改進，所述直線滑軌包括兩個，分別設置在滾珠絲杠兩端的支撐立柱上，兩個直線滑軌平行設置。

作為上述技術方案的進一步改進，所述豎向進給裝置固定安裝在滑塊上，隨滑塊做橫向運動。

作為上述技術方案的進一步改進，所述豎向進給裝置包括微調手柄和進給塊，所述微調手柄用于調節進給塊的豎向運動。

作為上述技術方案的進一步改進，所述檢測塊固定安裝在進給塊上，隨進給塊做豎向運動。

作為上述技術方案的進一步改進，所述支撐立柱上還設有用于檢測滑塊位置的光電開關，所述光電開關包括兩個，分別位于支撐立柱上靠近直線滑軌兩端部的位置。

作為上述技術方案的進一步改進，所述滑塊上還設有感應片，所述感應片從滑塊的頂部延伸至光電開關的檢測路線上。

本實用新型的有益效果是：本實用新型的平面度檢測儀的檢測裝置通過設置在支撐立柱上的直線導軌帶動探針橫向運動，并且通過設置在滑塊上的微調手柄與進給塊帶動探針豎向運動，探針在橫向豎向靈活運動，能夠快速定位至待檢工件的合適位置，同時手動調節的微調手柄在豎直方向實現微進給，使探針的定位精度更高，檢測結果更加準確。

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。

圖1是本實用新型后視軸測裝配示意圖；

圖2是本實用新型前視軸測裝配示意圖；

圖3是本實用新型橫向進給部分結構示意圖。

1、橫向進給裝置；11、滾珠絲杠；12、直線滑軌；13、滑塊；14、感應片；2、豎向進給裝置；21、微調手柄；22、進給塊；3、驅動電機；4、支撐立柱；5、檢測塊；6、光電開關。

具體實施方式