[實用新型]一種基于主動隔振的宏微雙驅動精密定位裝置

有效

• 申請號: 201921438158.1
• 申請日: 2019-08-29
• 公開（公告）號: CN210790014U
• 公開（公告）日: 2020-06-19
• 發明（設計）人: 邱志成;姚錫森;張憲民
• 申請（專利權）人: 華南理工大學
• 主分類號: B23Q1/25
• 分類號: B23Q1/25;B23Q11/00;G12B3/00;F16F15/00;G05B19/19
• 代理公司: 廣州市華學知識產權代理有限公司 44245
• 代理人: 王東東

1.一種基于主動隔振的宏微雙驅動精密定位裝置，其特征在于，包括機械運動本體單元、檢測單元及驅動控制單元；

所述機械運動本體單元包括定位裝置底座、U形臺、微動平臺、有鐵直線電機及APA驅動器；

所述定位裝置底座的凸臺上固定兩條直線導軌，每根直線導軌上設有兩個滑塊；

所述U形臺由兩塊相同的U形臺側板和U形底板構成，兩塊U形臺側板相互平行并垂直固定于U形臺底板上；U形臺與導軌上的滑塊連接，相對于定位裝置底座滑動；

所述微動平臺通過柔性鉸鏈設置在U形臺底板的上方；

所述有鐵直線電機的定子固定在定位裝置底座上，其動子固定在U形臺底板的下面；

所述APA驅動器一端連接U形臺側板，另一端通過連接鉸鏈與微動平臺連接；

所述檢測單元包括用于檢測U形臺位移量的光柵位移傳感器、用于檢測微動平臺位移量的激光干涉儀及用于檢測微動平臺相對U形臺水平方向振動量的電容位移傳感器；

所述控制單元包括直線電機伺服放大器、APA線性放大器、運動控制卡、計算機及數據采集卡，所述檢測單元檢測信號輸出至數據采集卡，進一步輸入至計算機，所述計算機與運動控制卡相互連接，所述運動控制卡分別輸出信號至直線電機伺服放大器及APA線性放大器，進一步驅動有鐵直線電機及APA驅動器。

2.根據權利要求1所述的宏微雙驅動精密定位裝置，其特征在于，還包括一根橫梁，所述橫梁固定在定位裝置底座上，激光干涉儀固定在橫梁上。

3.根據權利要求1所述的宏微雙驅動精密定位裝置，其特征在于，所述微動平臺的一個側面安裝微動檢測板，其相對于微動平臺不動。

4.根據權利要求1所述的宏微雙驅動精密定位裝置，其特征在于，所述有鐵直線電機安裝后的動子與定子之間存在2mm間隙。

5.根據權利要求3所述的宏微雙驅動精密定位裝置，其特征在于，微動檢測板用于檢測位移的一個面為光滑平面。

6.根據權利要求1所述的宏微雙驅動精密定位裝置，其特征在于，所述柔性鉸鏈為六條。