[實用新型]一種靶材檢測設備

有效

• 申請號: 201921434892.0
• 申請日: 2019-08-31
• 公開（公告）號: CN210892980U
• 公開（公告）日: 2020-06-30
• 發明（設計）人: 黃振;黃松
• 申請（專利權）人: 蘇州東宸先瑞新材料科技有限公司
• 主分類號: G01B5/28
• 分類號: G01B5/28
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種靶材檢測設備，該檢測設備包括底板、垂直固設于該底板第二側的固定柱、可上下滑動套設于該固定柱上的滑套、可轉動套設于該滑套上的軸承、以及與該軸承固定連接并指向該底板方向的千分表，該檢測設備還包括固設于該底板頂面第一側用于夾緊靶材的第一夾板、以及固設于該底板頂面第二側用于夾緊靶材的第二夾板，該滑套頂端設有貫穿該滑套的至少一個限位螺紋孔、以及與該限位螺紋孔螺接并可與固定柱抵接的限位螺栓。

技術領域

本實用新型涉及一種靶材檢測設備。

背景技術

現有的餅狀靶材在生產完成后，需要對靶材表面進行平面度檢測，而現有技術中所采用平面度檢測設備或儀器較為復雜，不便于用戶快速進行操作。

實用新型內容

本實用新型針對現有技術的上述缺陷，提供一種靶材檢測設備。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：構造一種靶材檢測設備，該檢測設備包括底板、垂直固設于該底板第二側的固定柱、可上下滑動套設于該固定柱上的滑套、可轉動套設于該滑套上的軸承、以及與該軸承固定連接并指向該底板方向的千分表，該檢測設備還包括固設于該底板頂面第一側用于夾緊靶材的第一夾板、以及固設于該底板頂面第二側用于夾緊靶材的第二夾板，該滑套頂端設有貫穿該滑套的至少一個限位螺紋孔、以及與該限位螺紋孔螺接并可與固定柱抵接的限位螺栓。

在本實用新型所述的靶材檢測設備中，該固定柱表面設有高度刻度線。

在本實用新型所述的靶材檢測設備中，該滑套底端設有用于擋止該軸承底端的固定盤。

在本實用新型所述的靶材檢測設備中，該底板四周角位置處分別設有用于固定該底板的固定孔。

在本實用新型所述的靶材檢測設備中，該第一夾板包括與底板垂直固定連接的第一豎直板、以及與該第一豎直板頂端固定連接并向第二夾板方向伸出的第一水平板，該第二夾板包括與底板垂直固定連接的第二豎直板、以及與該第二豎直板頂端固定連接并向第一夾板方向伸出的第二水平板，該第一水平板和第二水平板均與底板平行。

在本實用新型所述的靶材檢測設備中，該第一豎直板上設有水平貫穿該第一豎直板的復數個第一鎖緊螺紋孔，該第一鎖緊螺紋孔內設有可與該第一鎖緊螺紋孔螺接、并用于抵緊靶材第一側壁的第一鎖緊螺栓，該第二豎直板上設有水平貫穿該第二豎直板的復數個第二鎖緊螺紋孔，該第二鎖緊螺紋孔內設有可與該第二鎖緊螺紋孔螺接、并用于抵緊靶材第二側壁的第二鎖緊螺栓。

在本實用新型所述的靶材檢測設備中，該第一水平板上設有豎直貫穿該第一水平板的復數個第三鎖緊螺紋孔，該第三鎖緊螺紋孔內設有可與該第三鎖緊螺紋孔螺接、并用于抵緊靶材頂面的第三鎖緊螺栓，該第二水平板上設有豎直貫穿該第二水平板的復數個第四鎖緊螺紋孔，該第四鎖緊螺紋孔內設有可與該第四鎖緊螺紋孔螺接、并用于抵緊靶材頂面的第四鎖緊螺栓。

實施本實用新型的靶材檢測設備，具有以下有益效果：使用本實用新型的靶材檢測設備時，首先對底板進行固定，并通過向下滑動滑套帶動千分表的探針與底板表面進行接觸，對底板表面進行找平，如果底板表面不平，則通過調節底板固定的方式對底板進行找平，如對不平的邊進行墊設紙張之后再固定，直至對底板表面找平完成。然后向上移動滑套帶動千分表向上移動，將餅狀靶材放置于第一夾板和第二夾板之間夾緊，使得餅狀靶材的第一面朝上，然后向下移動滑套帶動千分表探針與餅狀靶材第一面接觸，旋轉限位螺栓將滑套鎖緊于固定柱上，繞軸承轉動千分表，探針在靶材表面進行移動，從而實現對靶材第一面平面度的檢測。在檢測過程中，還可以轉動靶材，對靶材第一面不同位置進行平面度檢測。在第一面平面度檢測完成后，以相同的方式對第二面進行檢測，從而最終實現對靶材表面的平面度檢測。

附圖說明

下面將結合附圖及實施例對本實用新型作進一步說明，附圖中：

圖1是本實用新型靶材檢測設備的結構示意圖。