[實用新型]無熱陣列波導(dǎo)光柵有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201921427329.0 | 申請日： | 2019-08-30 |
| 公開（公告）號： | CN210442536U | 公開（公告）日： | 2020-05-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 陳亦凡;鄭睿 | 申請（專利權(quán)）人： | 易銳光電科技（安徽）有限公司;蘇州易銳光電科技有限公司 |
| 主分類號： | G02B6/12 | 分類號： | G02B6/12 |
| 代理公司： | 蘇州謹(jǐn)和知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 32295 | 代理人： | 唐靜芳 |
| 地址： | 243000 安徽省馬鞍山*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 陣列 波導(dǎo) 光柵 | ||
1.一種無熱陣列波導(dǎo)光柵，包括硅基襯底；其特征在于還包括設(shè)置于所述硅基襯底之上的：
至少一個輸入光信號的輸入波導(dǎo)；
由第一平板波導(dǎo)構(gòu)成的第一自由傳輸區(qū)，與所述輸入波導(dǎo)的輸出端耦合；
無熱陣列波導(dǎo)，與所述第一自由傳輸區(qū)的輸出端耦合；
由第二平板波導(dǎo)構(gòu)成的第二自由傳輸區(qū)，與所述無熱陣列波導(dǎo)的輸出端耦合；
至少一個輸出光信號的輸出波導(dǎo)，與所述第二自由傳輸區(qū)的輸出端耦合；
所述無熱陣列波導(dǎo)包括包層與波導(dǎo)芯層，所述芯層設(shè)于所述包層之中，并且其折射率高于所述包層的折射率；
所述波導(dǎo)芯層包括周期性設(shè)置的多層結(jié)構(gòu)，所述多層結(jié)構(gòu)包括：雙層二氧化硅材料以及設(shè)置于所述雙層二氧化硅材料之間的負(fù)溫度系數(shù)材料；所述負(fù)溫度系數(shù)材料用于對所述硅基襯底受熱后尺寸形變進(jìn)行補償，以減小該無熱陣列波導(dǎo)光柵的溫漂系數(shù)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的無熱陣列波導(dǎo)光柵，其特征在于，所述負(fù)溫度系數(shù)材料為二氧化鈦。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的無熱陣列波導(dǎo)光柵，其特征在于，所述多層結(jié)構(gòu)中，二氧化硅材料的厚度為0.5～1μm，二氧化鈦材料的厚度為0.05-0.1μm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的無熱陣列波導(dǎo)光柵，其特征在于，所述多層結(jié)構(gòu)的有效折射率為1.5-1.6。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的無熱陣列波導(dǎo)光柵，其特征在于，所述多層結(jié)構(gòu)的有效折射率溫度系數(shù)為-2e-6～-4e-6/k。
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