[實用新型]一種二自由度宏微精密定位平臺裝置有效
| 申請號： | 201921425870.8 | 申請日： | 2019-08-29 |
| 公開（公告）號： | CN210589272U | 公開（公告）日： | 2020-05-22 |
| 發明（設計）人： | 邱志成;姚錫森;張憲民 | 申請（專利權）人： | 華南理工大學 |
| 主分類號： | B25J9/00 | 分類號： | B25J9/00;B25J9/10;B25J9/12;B25J9/16;B25J19/02 |
| 代理公司： | 廣州市華學知識產權代理有限公司 44245 | 代理人： | 王東東 |
| 地址： | 510640 廣*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 自由度 精密 定位 平臺 裝置 | ||
1.一種二自由度宏微精密定位平臺裝置，其特征在于，包括定位平臺本體部分、檢測部分及控制部分；
所述定位平臺本體部分包括氣浮平臺，所述氣浮平臺上設置定位平臺底座，所述定位平臺底座設置X軸導軌，所述X軸導軌上設置X軸宏動平臺，所述X軸宏動平臺設置Y軸導軌，所述Y軸導軌上設置Y軸宏動平臺，XY軸微動平臺通過四組相同的柔性鉸鏈設置在Y軸宏動平臺上；
還包括驅動X軸導軌運動的X軸直線電機、驅動Y軸導軌運動的Y軸直線電機及驅動柔性鉸鏈發生變形進一步使XY軸微動平臺運動的壓電陶瓷驅動器；
所述檢測部分包括用于檢測XY軸微動平臺位移信號的電容位移傳感器、用于檢測X軸宏動平臺位移的X軸光柵位移傳感器及用于檢測Y軸宏動平臺運動位移的Y軸光柵位移傳感器；
所述控制部分包括數據采集卡、運動控制卡、計算機、壓電陶瓷控制器及直線電機伺服放大器；
所述檢測部分的檢測信息輸入數據采集卡進一步輸入到計算機，計算機與運動控制卡相互連接，所述運動控制卡分別與壓電陶瓷控制器及直線電機伺服放大器相互連接。
2.根據權利要求1所述的一種二自由度宏微精密定位平臺裝置，其特征在于，所述四組相同的柔性鉸鏈圍成四邊形，相鄰角度為90度。
3.根據權利要求1所述的一種二自由度宏微精密定位平臺裝置，其特征在于，所述X軸導軌由兩條平行設置的導軌構成，兩條導軌相距200mm；
所述Y軸導軌由兩條平行設置的導軌構成，兩條導軌相距170mm。
4.根據權利要求1所述的一種二自由度宏微精密定位平臺裝置，其特征在于，還包括壓力傳感器，所述壓電陶瓷驅動器的頭端緊靠柔性鉸鏈端面，其尾端緊靠壓力傳感器，壓電陶瓷驅動器及壓力傳感器安裝需要施加預緊力后由壓電驅動器緊固件連接Y軸宏動平臺，壓力傳感器檢測預緊力大小信息輸入數據采集卡。
5.根據權利要求1所述的一種二自由度宏微精密定位平臺裝置，其特征在于，X軸直線電機及Y軸直線電機均為無鐵心式直線電機。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于華南理工大學，未經華南理工大學許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201921425870.8/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種密封端蓋注塑模具
- 下一篇：一種棒材軋制導向模具
