[實用新型]一種激光準直收發一體式直線度測量的標定系統

有效

• 申請號: 201921423004.5
• 申請日: 2019-08-29
• 公開（公告）號: CN210346614U
• 公開（公告）日: 2020-04-17
• 發明（設計）人: 段發階;張聰;傅驍;劉文正;蘇宇浩;鮑瑞伽
• 申請（專利權）人: 天津大學
• 主分類號: G01B11/27
• 分類號: G01B11/27
• 代理公司: 天津市北洋有限責任專利代理事務所 12201
• 代理人: 劉子文

1.一種激光準直收發一體式直線度測量的標定系統，其特征在于，包括直線度測量機構、激光干涉儀激光頭(7)、激光干涉儀干涉鏡(8)、激光干涉儀角錐棱鏡(9)和位移臺(12)，所述直線度測量機構由激光器(1)、二維位置探測器(2)、固定端基座(3)和角錐棱鏡(4)組成，激光器(1)和二維位置探測器(2)均固定在固定端基座(3)上，激光器(1)的出射激光(5)照射到角錐棱鏡(4)，經過角錐棱鏡(4)后的回射激光(6)照射到二維位置探測器(2)上，所述角錐棱鏡(4)放置于位移臺(12)上；

激光干涉儀角錐棱鏡(9)放置于位移臺(12)上，位移臺(12)能夠沿x方向水平移動，激光干涉儀激光頭(7)的出射激光(10)與坐標系x方向平行并照射到激光干涉儀角錐棱鏡(9)上，經過激光干涉儀角錐棱鏡(9)的回射激光(11)被激光干涉儀激光頭(7)接收，激光干涉儀干涉鏡(8)放置在激光干涉儀激光頭(7)與激光干涉儀角錐棱鏡(9)之間，使激光干涉儀激光頭(7)內激光干涉從而實現位移臺(12)的位移測量；位移臺(12)沿x方向運動能夠實現標定二維位置探測器(2)的x方向，將二維位置探測器(2)旋轉90°后能夠實現標定二維位置探測器(2)的z方向。