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[實用新型]一種TFT用高純鋁蝕刻液生產裝置有效

專利信息
申請號: 201921405335.6 申請日: 2019-08-27
公開(公告)號: CN211098792U 公開(公告)日: 2020-07-28
發明(設計)人: 戈士勇;何珂 申請(專利權)人: 江陰潤瑪電子材料股份有限公司
主分類號: B01F13/10 分類號: B01F13/10;B01F15/06;C23F1/20
代理公司: 江陰市輕舟專利代理事務所(普通合伙) 32380 代理人: 曹鍵
地址: 214423 江蘇*** 國省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 tft 高純 蝕刻 生產 裝置
【權利要求書】:

1.一種TFT用高純鋁蝕刻液生產裝置,包括底架板(7)和儲料桶(8),其特征在于:所述底架板(7)的頂部中間左側位置處設置有儲料桶(8),所述儲料桶(8)的頂部位置處設置有傳輸管(3),所述傳輸管(3)的頂部位置處與儲料桶(8)相對應的位置處設置有抽取泵(2),所述傳輸管(3)的前端中間位置處設置有固定架(1),所述傳輸管(3)的另一端位置處設置在混合桶(5)的頂部左側位置處,所述混合桶(5)的頂部位置處設置有工作電機(4),所述底架板(7)的底部位置處設置有腳架(6)。

2.根據權利要求1所述的一種TFT用高純鋁蝕刻液生產裝置,其特征在于:所述混合桶(5)包括傳動軸(51)、導熱攪拌棍(52)、出料口(53)、穩定軸(54)和桶壁(55),所述桶壁(55)的頂部中間位置處設置有傳動軸(51),所述傳動軸(51)的下方位置處設置有穩定軸(54),所述穩定軸(54)的右側位置處設置有導熱攪拌棍(52),所述桶壁(55)的右側中間偏下位置處設置有出料口(53)。

3.根據權利要求1所述的一種TFT用高純鋁蝕刻液生產裝置,其特征在于:所述儲料桶(8)包括加料口(81)、抽料口(82)、固定塊(83)、桶體(84)、濾網(85)和抽料管(86),所述桶體(84)的頂部中間位置處設置有固定塊(83),所述固定塊(83)的中間位置處設置有抽料口(82),所述桶體(84)的頂部中間偏左位置處設置有加料口(81),所述固定塊(83)的內側底部中間位置處設置有濾網(85)。

4.根據權利要求1所述的一種TFT用高純鋁蝕刻液生產裝置,其特征在于:所述儲料桶(8)共設置有四個,且四個儲料桶(8)的大小和形狀均相同,四個所述儲料桶(8)均勻的設置在底架板(7)的頂部中間位置處。

5.根據權利要求1所述的一種TFT用高純鋁蝕刻液生產裝置,其特征在于:所述抽取泵(2)共設置有四個,且四個抽取泵(2)的大小和形狀均相同,四個所述抽取泵(2)分別設置在傳輸管(3)的頂部與四個儲料桶(8) 相對應的位置處。

6.根據權利要求2所述的一種TFT用高純鋁蝕刻液生產裝置,其特征在于:所述導熱攪拌棍(52)共設置有八個,且八個導熱攪拌棍(52)的大小和形狀均相同,八個所述導熱攪拌棍(52)分別設置在穩定軸(54)的兩側位置處。

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