[實用新型]接頭組件與接頭裝置

有效

• 申請號: 201921400564.9
• 申請日: 2019-08-27
• 公開（公告）號: CN211649356U
• 公開（公告）日: 2020-10-09
• 發明（設計）人: 徐宏信;邱彥嵐
• 申請（專利權）人: 亞泰半導體設備股份有限公司
• 主分類號: F16L15/00
• 分類號: F16L15/00;F16L15/04;F16K27/00
• 代理公司: 北京北新智誠知識產權代理有限公司 11100
• 代理人: 朱麗華

本實用新型公開了一種接頭組件與接頭裝置，其具有第一基座、第一流體接口組件與閥門組件。通過閥門組件可控制流體流經或不流經接頭組件，以達到對流體的雙邊逆止的效果。本實用新型提供的接頭組件與接頭裝置可有效管制流體的流通，并具有較佳的阻隔功能。

技術領域

本實用新型關于一種接頭組件與接頭裝置，具體涉及一種通過閥門組件以加強阻隔流體泄漏的接頭組件與接頭裝置。

背景技術

接頭裝置被用以控制工業制程的污染，以半導體制造中的化學機械研磨制程(CMP)為例，研磨液(slurry)流經接頭裝置后噴灑于晶圓上以進行化學研磨，其中接頭裝置需要定期被卸下來做清潔保養，以維持半導體制程中的潔凈程度。

研磨液一般是含固液體(solid contain liquid)，因此，傳統接頭裝置采用活塞對接以達到導通或不導通，且傳統接頭裝置并未包含開關把手，來達到逆止的功能。然而，由于傳統接頭裝置缺乏雙邊逆止的功能，因此容易在拆裝過程中發生漏液的情形，甚至可能在液體循環回路失去控制時，無逆止功能，而導致回流的液體自容器(例如，原液桶)中溢出。再者，活塞對接的方式易造成液體殘留于接口處，進而使污染的風險提高。

實用新型內容

為了克服現有技術中不足的地方，本實用新型實施例提供一種接頭組件與接頭裝置。所述接頭組件具有閥門組件，用戶可通過閥門組件的閥門控制部件以控制開關，達成液體回路雙邊逆止的功效。再者，閥門組件提供較佳的阻隔性，可有效降低液體殘留的機率，提升各種工業制程中的潔凈程度。

基于前述目的的至少其中之一，本實用新型實施例提供的接頭組件包括第一基座、第一流體接口組件以及閥門組件。所述第一基座具有沿著第一基座的第一方向貫穿第一基座的上端與下端的第一鏤空結構，以及沿著第一基座的第二方向貫穿第一基座的側端的第二鏤空結構，其中第一鏤空結構連通于第二鏤空結構。所述第一流體接口組件為中空柱體，并具有第一端與第二端。第一流體接口組件容置于第一基座的第一鏤空結構并固定于第一基座，且第一鏤空結構的上端暴露第一流體接口組件的第一端。所述閥門組件包括閥門部件與閥門控制部件。所述閥門部件具有第一中空流通部與第一封閉部，且閥門部件安置于第一基座的第二鏤空結構內，并可旋轉地固定于第一基座。所述閥門控制部件連接閥門部件，用以被旋轉，以帶動閥門部件在第一基座的第二鏤空結構內旋轉，使得閥門部件的第一中空流通部連通于第一流體接口組件的第二端，或使得閥門部件的第一封閉部封閉第一流體接口組件的第二端。

可選地，所述接頭組件還包括第二流體接口組件，其中第二流體接口組件為中空柱體，且具有第三端與第四端。第二流體接口組件容置于第一基座的第一鏤空結構并固定于第一基座，且第一鏤空結構的上端暴露第二流體接口組件的第三端，其中閥門組件的閥門部件還具有第二中空流通部與第二封閉部，閥門控制部件用以被旋轉，以帶動閥門部件在第一基座的第二鏤空結構內旋轉，使得閥門部件的第二中空流通部連通于第二流體接口組件的第四端，或使得閥門部件的第二封閉部封閉第二流體接口組件的第四端。

可選地，所述閥門組件更包括閥門O型內環，且閥門O型內環設置于閥門部件的第一中空流通部與第一封閉部之間，以及第二中空流通部與第二封閉部之間，以阻擋流體在第一中空流通部與第二中空流通部之間流通。

可選地，所述接頭組件還包括鎖緊環與環扣。所述鎖緊環為環狀圈體，具有套接孔與鎖緊部，并通過套接孔以使鎖緊環環套于第一基座的底部區域，其中所述鎖緊部具有第一牙紋。所述環扣為環狀圈體，套合并固定于第一基座的底部區域的凹槽。所述環扣的直徑大于鎖緊環的套接孔的直徑，以阻擋鎖緊環在環套第一基座的底部區域時脫落。