[實用新型]具有長度和晶線方向測量功能的單晶硅棒上料臺

有效

• 申請號: 201921398547.6
• 申請日: 2019-08-27
• 公開（公告）號: CN211137735U
• 公開（公告）日: 2020-07-31
• 發明（設計）人: 張天澤;鄭家坤
• 申請（專利權）人: 大連昊霖智能裝備有限公司
• 主分類號: B28D7/00
• 分類號: B28D7/00;G01S17/06;G01S17/08
• 代理公司: 大連格智知識產權代理有限公司 21238
• 代理人: 劉琦

1.一種具有長度和晶線方向測量功能的單晶硅棒上料臺，其特征在于，上料臺(45)上設置兩組用于夾持單晶硅棒(46)的夾持組，每組所述夾持組包括鋪設于所述上料臺(45)上且相互平行的齒條(40)與導軌(41)，以及用于夾持同一根單晶硅棒(46)兩端且互指的一個動夾持頭(44)和一個定夾持頭(51)；所述動夾持頭(44)和所述定夾持頭(51)均為轉動式結構，轉動平面垂直于所述單晶硅棒(46)；

所述齒條(40)與導軌(41)上搭設有滑塊；所述滑塊連接于用于驅動所述滑塊在所述導軌(41)上移動的滑塊伺服電機(52)；所述滑塊還通過垂直于所述導軌(41)的水平桿連接于所述動夾持頭(44)；

所述定夾持頭(51)通過支架支撐于所述上料臺(45)上且連接于用于驅動所述定夾持頭(51)轉動的定夾持頭伺服電機(48)；

兩組所述夾持組平行排列設置于所述上料臺(45)上，且在兩組所述夾持組之間設置有一個激光位移傳感器(50)。

2.根據權利要求1所述具有長度和晶線方向測量功能的單晶硅棒上料臺，其特征在于，所述滑塊伺服電機(52)連接于第一減速器(53)。

3.根據權利要求1所述具有長度和晶線方向測量功能的單晶硅棒上料臺，其特征在于，所述定夾持頭伺服電機(48)連接于第二減速器(49)。

4.根據權利要求1所述具有長度和晶線方向測量功能的單晶硅棒上料臺，其特征在于，所述上料臺(45)底部通過多個氣缸(54)支撐于基座(56)。

5.根據權利要求4所述具有長度和晶線方向測量功能的單晶硅棒上料臺，其特征在于，所述氣缸(54)的頂部連接于第三減速器(55)。

6.根據權利要求1所述具有長度和晶線方向測量功能的單晶硅棒上料臺，其特征在于，所述激光位移傳感器(50)靠近所述定夾持頭(51)的端面與兩個所述定夾持頭(51)的端面相齊。

7.根據權利要求6所述具有長度和晶線方向測量功能的單晶硅棒上料臺，其特征在于，所述激光位移傳感器(50)靠近所述定夾持頭(51)的端面位于兩個所述定夾持頭(51)端面的正中間。

8.根據權利要求1所述具有長度和晶線方向測量功能的單晶硅棒上料臺，其特征在于，所述滑塊與所述齒條(40)通過齒輪連接。