[實用新型]微圖文轉(zhuǎn)印用定位工裝

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921385564.6
• 申請日: 2019-08-23
• 公開（公告）號: CN210348200U
• 公開（公告）日: 2020-04-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 馮煜;周永南;袁順年
• 申請（專利權(quán)）人: 江陰通利光電科技有限公司
• 主分類號: G03F9/00
• 分類號: G03F9/00;G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型涉及微圖文轉(zhuǎn)印用定位工裝，包括工作臺面、設(shè)置于工作臺面底部兩側(cè)的若干組支撐腳和定位部件；工作臺面包括設(shè)置于其左、右兩側(cè)內(nèi)壁的長方形滑槽，內(nèi)置于工作臺面前側(cè)面與水平面相平行的縱向滾珠絲杠滑道，內(nèi)置于工作臺面右側(cè)面的橫向滾珠絲杠安裝孔；定位部件水平設(shè)置在工作臺面的內(nèi)部，包括滑軌、平行于滑軌設(shè)置的橫向滾珠絲杠、套接在橫向滾珠絲杠兩端的第二限位塊、架設(shè)在滑軌和橫向滾珠絲杠上方的縱向滾珠絲杠滑槽及其內(nèi)置的縱向滾珠絲杠、設(shè)置在滑軌左端上表面的第一定位組件和套接在縱向滾珠絲杠上的第二定位組件。本實用新型實現(xiàn)了光掩模版和薄膜基板快速精準(zhǔn)地對位，防止了其在受力時產(chǎn)生移位，且可適用不同尺寸產(chǎn)品的定位。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及微圖文轉(zhuǎn)印設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及微圖文轉(zhuǎn)印用定位工裝。

背景技術(shù)

隨著科技的飛速發(fā)展，微圖文轉(zhuǎn)印技術(shù)被廣泛用于電子元器件、高密度磁盤介質(zhì)、防偽薄膜等領(lǐng)域，常用的微圖轉(zhuǎn)印文技術(shù)主要分為接觸式光刻和非接觸式光刻兩種，其中，接觸式光刻要求在曝光時將掩膜版壓在襯底基片的光刻膠上，因此，需要用層壓機進行對壓。然而，現(xiàn)有的層壓機進行對壓操作時，常常難以將掩膜版和襯底基片進行精準(zhǔn)對位，而且層壓過程中容易因為受力過大或不均而對掩膜版和襯底基片造成損傷。

中國公開號為CN 207876938 U公開的一種光伏組件膠膜的精確定位上料工裝，包括取料、移送以及放置膠膜的上料機器人，所述精確定位上料工裝還包括視覺定位系統(tǒng)，所述視覺定位系統(tǒng)包括相機和圖像處理分析主機，所述相機分別設(shè)于待取料膠膜和待放置層壓件上方，所述圖像處理分析主機輸入端與所述相機連接，所述圖像處理分析主機輸出端與所述上料機器人連接。通過視覺定位系統(tǒng)獲取膠膜和層壓件的位置，進而調(diào)節(jié)上料機器人的抓取角度和/或抓取位置，對鋪設(shè)機拉斜，拉偏的膠膜及時有效的干預(yù)，達到上料機器人對膠膜的居中吸附，并且將膠膜居中放置于層壓件上，進而使得膠膜與層壓件對齊，但是此種工裝結(jié)構(gòu)復(fù)雜，制造成本高，且后續(xù)設(shè)備和系統(tǒng)維護較為麻煩，且僅適用于固定形狀的產(chǎn)品。

因此，有必要對現(xiàn)有的定位工裝進行改進，以解決上述問題。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供微圖文轉(zhuǎn)印用定位工裝，以實現(xiàn)光掩模版和薄膜基板快速精準(zhǔn)地對位，防止光掩模版和薄膜基板在受力狀態(tài)下產(chǎn)生移位，且可適用不同尺寸的圖文模板和薄膜基板的精準(zhǔn)定位操作。

為達到上述實用新型的目的，本實用新型提供的技術(shù)方案為：微圖文轉(zhuǎn)印用定位工裝，包括工作臺面、設(shè)置于工作臺面底部兩側(cè)的若干組支撐腳和定位部件；

所述工作臺面為上方敞口的長方體設(shè)計，包括設(shè)置于工作臺面左、右兩側(cè)面內(nèi)壁的長方形滑槽，內(nèi)置于工作臺面前側(cè)面并與水平面相平行的縱向滾珠絲杠滑道，內(nèi)置于工作臺面右側(cè)面的橫向滾珠絲杠安裝孔；

所述定位部件，水平設(shè)置在工作臺面的內(nèi)部，呈“H”型設(shè)計，包括滑軌、平行于滑軌設(shè)置的橫向滾珠絲杠、套接在橫向滾珠絲杠兩端的第二限位塊、架設(shè)在滑軌和橫向滾珠絲杠上方的縱向滾珠絲杠滑槽、設(shè)置在縱向滾珠絲杠滑槽內(nèi)部的縱向滾珠絲杠、固定設(shè)置在滑軌左端上表面的第一定位組件和套接在縱向滾珠絲杠上的第二定位組件。

進一步地，所述長方形滑槽呈水平設(shè)置，且長方形滑槽的一端與工作臺面的前側(cè)面內(nèi)壁固定在一起，另一端與工作臺面的后側(cè)面的內(nèi)壁固定在一起。

進一步地，所述滑軌沿所述工作臺面前側(cè)面的內(nèi)壁水平設(shè)置，且所述滑軌靠近縱向滾珠絲杠滑道的下邊緣處，所述滑軌的一端延伸至工作臺面左側(cè)的長方形槽的側(cè)壁并與其固定在一起，滑軌的另一端延伸至工作臺面右側(cè)的長方形槽的側(cè)壁并與其固定在一起，在所述滑軌的兩側(cè)設(shè)有側(cè)槽，在滑軌的左端設(shè)有若干第一定位銷孔。

進一步地，所述第二限位塊，緊靠長方形槽的側(cè)壁以及工作臺面后側(cè)面的內(nèi)壁設(shè)置并與其固定在一起，所述第二限位塊設(shè)有第一通孔，所述第一通孔的孔徑與橫向滾珠絲杠的外直徑相一致。