[實用新型]晶圓夾具的導電彈片

有效

• 申請號: 201921367568.1
• 申請日: 2019-08-22
• 公開（公告）號: CN210325712U
• 公開（公告）日: 2020-04-14
• 發明（設計）人: 邱曉明
• 申請（專利權）人: 邱曉明
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/673;H01L21/683
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司 31211
• 代理人: 戴廣志

本實用新型為一種晶圓夾具的導電彈片，適用于載盤，而所述晶圓夾具的導電彈片，包含：結合部，設于所述載盤上；彈性部，供以電性連接導電片；由于所述彈性部能夠彈性地靠近或遠離所述結合部，使所述導電彈片具有彈性裕度，當晶圓夾具與各構件組合時，利用所述導電彈片良好的彈性，使導電接觸良好，形成極佳的導電組合結構。

技術領域

本實用新型涉及一種晶圓夾具的導電彈片，特別是關于晶圓夾具的輔助制具。

背景技術

一般電鍍晶圓時所使用的晶圓夾具主要具有載盤，所述載盤上用以放置晶圓，再將晶圓夾具導通電力，以完成晶圓電鍍的作業。

在電鍍晶圓的過程中，晶圓會與晶圓夾具內的導電片相接觸，由此讓電力能夠導通至晶圓，值得一提的是，若能夠讓晶圓與導電片之間更良好的相接觸，則能夠提供更好的導電效果。

因此，確有必要提供一種技術手段，使晶圓夾具內的晶圓與導電片能夠更緊密地接觸。

實用新型內容

本實用新型的目的在于，使晶圓能夠與導電片更良好的相接觸，以提供更好的導電效果。

為達成前述目的，本實用新型為一種晶圓夾具的導電彈片，適用于載盤，而所述晶圓夾具的導電彈片，包含：

結合部，設于所述載盤上；

彈性部，供以電性連接導電片。

在一較佳實施例中，所述結合部上穿設有結合孔，所述結合孔通過螺栓將所述結合部鎖固于所述載盤上。

在一較佳實施例中，所述彈性部與所述結合部一體成型，且所述導電彈片的所述彈性部連接所述結合部的一側，使所述彈性部與所述結合部之間夾有一角度，由此令所述導電彈片具有適當的彈性。

在一較佳實施例中，所述彈性部具有二翼片，所述二翼片分別與所述導電片電性連接。

在一較佳實施例中，所述二翼片之間分岔形成間隙。

在一較佳實施例中，所述二翼片的其中一端連接所述結合部，而其另一端分別連接一弧部。

在一較佳實施例中，所述二翼片分別與所述導電片電性連接，且所述二翼片與所述弧部之間連接的部位具有弧度。

由此，使用者組合所述導電彈片，只需要通過螺絲穿過所述結合孔，即可將導電彈片組合于載盤上，不僅組設方便，由于所述彈性部能夠彈性地靠近或遠離所述結合部，使所述導電彈片具有彈性裕度，當晶圓夾具與各構件組合時，利用所述導電彈片良好的彈性，可令導電接觸良好，形成極佳的導電組合結構，所述導電彈性結構在實際使用時也不易損壞，因此，更可降低其零件更換的需求，達到節約使用成本的目的。

附圖說明

圖1為本實用新型在一較佳實施例中晶圓夾具的立體分解圖。

圖2為本實用新型在一較佳實施例中晶圓夾具的剖視圖。

圖3為本實用新型在一較佳實施例中導電彈片的立體圖。

圖4為本實用新型在一較佳實施例中導電彈片的側視圖。

附圖中符號標記說明：

導電彈片10 結合部11

結合孔111 彈性部12

翼片121 弧部122

間隙123 載盤20

導電片30 螺栓91