[實用新型]一種光阻供應(yīng)裝置及涂膠設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921364688.6
• 申請日: 2019-08-21
• 公開（公告）號: CN210181385U
• 公開（公告）日: 2020-03-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 程龍;劉運田;劉玉興;楊瀾
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京北旭電子材料有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16
• 代理公司: 北京同達(dá)信恒知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11291
• 代理人: 李欣

1.一種光阻供應(yīng)裝置，其特征在于，包括：支架框及光阻桶，所述光阻桶懸空固定于所述支架框內(nèi)；

所述光阻桶的桶底向外凸出且形成有最低點，所述最低點設(shè)置有用于連接光阻涂布機臺的出料端口；

所述光阻桶的頂部設(shè)置有進(jìn)料端口以及用于調(diào)節(jié)所述光阻桶內(nèi)壓強的穩(wěn)壓結(jié)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光阻供應(yīng)裝置，其特征在于，所述穩(wěn)壓結(jié)構(gòu)包括進(jìn)氣端口、排氣端口以及自動穩(wěn)壓器。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光阻供應(yīng)裝置，其特征在于，所述光阻桶的頂部設(shè)有上封頭，所述進(jìn)料端口、所述進(jìn)氣端口、所述排氣端口以及所述自動穩(wěn)壓器均設(shè)置于所述上封頭上。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光阻供應(yīng)裝置，其特征在于，所述上封頭設(shè)置有清洗蓋，所述清洗蓋內(nèi)側(cè)設(shè)置有用于清洗所述光阻桶內(nèi)部的清洗組件。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-4中任一項所述的光阻供應(yīng)裝置，其特征在于，所述光阻桶的內(nèi)壁覆有四氟樹脂膜。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-4中任一項所述的光阻供應(yīng)裝置，其特征在于，所述光阻桶的桶底為倒圓錐形。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光阻供應(yīng)裝置，其特征在于，所述支架框包括用于安裝所述光阻桶的板框以及設(shè)置于所述板框底部的底托架；

所述板框的頂部設(shè)有吊裝口，所述底托架設(shè)置有叉車口。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光阻供應(yīng)裝置，其特征在于，所述板框的頂部還設(shè)置有防滑板，所述防滑板在所述底托架上的正投影與所述光阻桶在所述底托架上的正投影有重疊。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光阻供應(yīng)裝置，其特征在于，所述底托架的底部還設(shè)置有與所述出料端口對應(yīng)的出料口托盤。

10.一種涂膠設(shè)備，其特征在于，包括光阻涂布機臺以及如權(quán)利要求1-9中任一項所述的光阻供應(yīng)裝置，所述光阻供應(yīng)裝置的出料端口與所述光阻涂布機臺相連接。