[實用新型]一種用于砷化鎵生產的熱場裝置

有效

• 申請號: 201921364332.2
• 申請日: 2019-08-21
• 公開（公告）號: CN211036183U
• 公開（公告）日: 2020-07-17
• 發明（設計）人: 蘭少東
• 申請（專利權）人: 江蘇中科晶元信息材料有限公司
• 主分類號: C30B29/42
• 分類號: C30B29/42;C30B35/00
• 代理公司: 蘇州市港澄專利代理事務所(普通合伙) 32304
• 代理人: 湯婷

本實用新型公開了一種用于砷化鎵生產的熱場裝置，包括爐體、保溫筒和石墨加熱器，所述爐體內腔設置有保溫筒，保溫筒內壁設置有石墨加熱器,石墨加熱器內壁設置有坩堝，坩堝底部設置有坩堝托架，坩堝托架底部設置有坩堝托桿,所述保溫筒頂端設置有導流筒，導流筒出口處位于坩堝內腔，所述保溫筒底部設置有保溫板，使用時，通過啟動電機，使得收線輪轉動，從而將繩索進行收緊，從而將保溫筒升起，從而避免了動用人工將保溫筒抬起，進而節省了大量人力物力，且有效的避免了對保溫筒造成的損傷，提高了保溫筒的使用壽命，通過設置的防漏板及密封圈,有效的避免了高溫硅液泄漏接觸熱場其余組件。

技術領域

本實用新型涉及砷化鎵生產設備技術領域，具體是一種用于砷化鎵生產的熱場裝置。

背景技術

熱場裝置是砷化鎵晶體生產過程中應用的一種重要設備，其功能是為砷化鎵晶體的生長過程提供適宜的溫度環境。熱場裝置的結構通常包括爐體、保溫筒、電加熱筒、坩堝托架、坩堝和導流筒，使用熱場裝置進行生產時，需要在每個生產周期后將保溫筒從爐體內抬出。

目前通常采用人力搬運的方式將保溫筒抬出，這種方式不但費時費力，而且容易對石墨制成的保溫筒造成損傷，大大的增加了生產成本，因此，本領域技術人員提供了一種用于砷化鎵生產的熱場裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。

發明內容

本實用新型的目的在于提供一種用于砷化鎵生產的熱場裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種用于砷化鎵生產的熱場裝置，包括爐體、保溫筒和石墨加熱器，所述爐體內腔設置有保溫筒，保溫筒內壁設置有石墨加熱器,石墨加熱器內壁設置有坩堝，坩堝底部設置有坩堝托架，坩堝托架底部設置有坩堝托桿,所述保溫筒頂端設置有導流筒，導流筒出口處位于坩堝內腔，所述保溫筒底部設置有保溫板，所述石墨加熱器底部設置有電極，電極底部延伸至保溫板下方，所述保溫板底部兩側均設有連接柱，連接柱下方設置有支柱,支柱底部連接爐體底部內壁，所述保溫板左右兩側均通過吊耳設置有繩索,爐體頂端兩側均設置有導線輪，且爐體左右兩側壁均設置有電機架，電機架上設置有電機，電機軸部連接有收線輪，所述繩索通過導線輪纏繞至收線輪上，且繩索與爐體內壁之間設置有若干個均勻分布的導向輪。

作為本實用新型進一步的方案：所述保溫筒底部兩側均設置有卡塊，保溫板上表面與卡塊對應設置有卡槽。

作為本實用新型再進一步的方案：所述保溫板底部與電極連接處設置有防漏板，防漏板與電極連接處設置有密封圈。

作為本實用新型再進一步的方案：所述連接柱內腔設置有彈簧，彈簧遠離連接柱頂端內壁一端設置有推塊，推塊底部設置有緩沖塊。

作為本實用新型再進一步的方案：所述支柱頂端設置有凹槽，凹槽與緩沖塊均為半球形結構，且緩沖塊的尺寸與凹槽的尺寸相等。

作為本實用新型再進一步的方案：所述推塊兩側均設置有滑塊，連接柱內壁設置有滑槽，滑塊與滑槽滑動連接。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

使用時，通過啟動電機，使得收線輪轉動，從而將繩索進行收緊，從而將保溫筒升起，從而避免了動用人工將保溫筒抬起，進而節省了大量人力物力，且有效的避免了對保溫筒造成的損傷，提高了保溫筒的使用壽命，通過設置的防漏板及密封圈,有效的避免了高溫硅液泄漏接觸熱場其余組件，同時避免高溫硅液流至不銹鋼爐室的內壁及底面，降低因漏硅產生的經濟損失，當把保溫筒下放時，通過設置的連接柱及支柱起到了很好的緩沖作用，從而避免下放保溫筒時發生強烈震動，對保溫筒造成損壞，從而對保溫筒起到了很好的保護作用。

附圖說明

圖1為一種用于砷化鎵生產的熱場裝置的結構示意圖。

圖2為一種用于砷化鎵生產的熱場裝置中A的局部放大圖。