[實用新型]一種曝光機真空吸盤

有效

• 申請號: 201921362316.X
• 申請日: 2019-08-21
• 公開（公告）號: CN210323766U
• 公開（公告）日: 2020-04-14
• 發明（設計）人: 歐陽朝輝
• 申請（專利權）人: 深圳市科爾曼科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京科家知識產權代理事務所(普通合伙) 11427
• 代理人: 陳娟

1.一種曝光機真空吸盤，包括外殼(1)和吸盤腔(2)，所述吸盤腔(2)位于外殼(1)內腔，其特征在于：所述外殼(1)內部兩側固定連接有支撐柱(3)，所述支撐柱(3)另一端固定連接有第一彈簧柱(4)，且支撐柱(3)通過第一彈簧柱(4)與吸盤腔(2)外壁兩側相連，所述外殼(1)內側下方通過第二彈簧柱(5)與吸盤腔(2)外壁下方相連，所述吸盤腔(2)內壁兩側開設有卡口(6)，所述卡口(6)之間可拆卸連接有過濾裝置(7)，所述過濾裝置(7)包括環形架(8)、第一支撐架(9)和第二支撐架(10)，所述第一支撐架(9)和第二支撐架(10)均位于環形架(8)內側，且第一支撐架(9)和第二支撐架(10)交錯分布，所述第一支撐架(9)和第二支撐架(10)之間固定連接有過濾網(11)，所述第一支撐架(9)和第二支撐架(10)的交接處內腔均設置有中心定位塊(12)，所述第一支撐架(9)內腔兩側均設置有卡桿(13)，且卡桿(13)位于中心定位塊(12)兩側，所述卡桿(13)另一端均貫穿第一支撐架(9)并延伸至第一支撐架(9)外部兩側，所述第一支撐架(9)內腔底端開設有滑軌(14)，所述滑軌(14)內部滑動連接有滑動座(15)，且滑動座(15)上端與卡桿(13)底壁固定連接，所述卡桿(13)一端通過復位彈簧(16)與中心定位塊(12)相連，所述卡桿(13)上方固定連接有移動塊(17)，且移動塊(17)另一端貫穿第一支撐架(9)并延伸至第一支撐架(9)外部上方。

2.根據權利要求1所述的一種曝光機真空吸盤，其特征在于：所述第一支撐架(9)與第二支撐架(10)內部結構相同。

3.根據權利要求1所述的一種曝光機真空吸盤，其特征在于：所述環形架(8)外壁四周開設有與卡桿(13)相適配的開口(20)。

4.根據權利要求1所述的一種曝光機真空吸盤，其特征在于：所述吸盤腔(2)頂端固定連接有連接接頭(18)，且連接接頭(18)貫穿外殼(1)并延伸至外殼(1)外部上方。

5.根據權利要求1所述的一種曝光機真空吸盤，其特征在于：所述吸盤腔(2)外壁底端固定連接有密封圈(19)。