[實用新型]一種管式反應器的布氣法蘭有效
| 申請號: | 201921362024.6 | 申請日: | 2019-08-21 |
| 公開(公告)號: | CN211005611U | 公開(公告)日: | 2020-07-14 |
| 發明(設計)人: | 練菊;葛懷慶;馬磊;孫友巍;孫嵩泉 | 申請(專利權)人: | 普樂新能源(蚌埠)有限公司 |
| 主分類號: | C23C16/455 | 分類號: | C23C16/455 |
| 代理公司: | 蚌埠鼎力專利商標事務所有限公司 34102 | 代理人: | 張建宏 |
| 地址: | 233030 *** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 反應器 法蘭 | ||
一種管式反應器的布氣法蘭,包括圓形的法蘭本體,所述的法蘭本體的周向內側設有若干第一環形槽,所述的若干第一環形槽沿法蘭本體軸向間隔布置,每個第一環形槽的開口側均設有與第一環形槽相匹配的擋圈,擋圈的周向內側與法蘭本體周向內側相平齊,每個第一環形槽與對應的擋圈形成一個環形氣道,所述的每個擋圈周向均布有若干連通第一環形槽內外的通孔,所述的每個通孔上均設有與通孔相匹配的柱塞,所述的柱塞為實心柱塞或帶有穿孔的柱塞,法蘭本體周向外側設有若干氣孔,氣孔在法蘭本體外側沿法蘭本體周向間隔布置,所述的氣孔與第一環形槽一一對應且相對應的氣孔與第一環形槽相連通。本布氣法蘭布氣均勻且可以根據需要調節進氣的大小、流向。
技術領域
本實用新型涉及一種管式反應器的布氣法蘭。
背景技術
化學氣相沉積鍍膜工藝中,管式反應器進氣方式包括單爐口進氣、單爐尾進氣或者兩者結合,現有的管式反應器進氣爐口布氣裝置是在法蘭上安裝兩根氣管,只有兩點進氣,布氣不均勻且無法調節進氣的大小、流向,現有技術也有采用噴淋板,噴淋版和管式反應器無法集成到一起,是分體式,在自動化設備上設計復雜,也無法對進氣進行調節。
實用新型內容
本實用新型所要解決的技術問題是提供一種布氣均勻且可以調節進氣的大小、流向的管式反應器的布氣法蘭。
為解決上述技術問題,本實用新型提供了一種管式反應器的布氣法蘭,包括圓形的法蘭本體,所述的法蘭本體的周向內側設有若干第一環形槽,所述的若干第一環形槽沿法蘭本體軸向間隔布置,每個第一環形槽的開口側均設有與第一環形槽相匹配的擋圈,擋圈的周向內側與法蘭本體周向內側相平齊,每個第一環形槽與對應的擋圈形成一個環形氣道,所述的每個擋圈周向均布有若干連通第一環形槽內外的通孔,所述的每個通孔上均設有與通孔相匹配的柱塞,所述的柱塞為實心柱塞或帶有穿孔的柱塞,法蘭本體周向外側設有若干氣孔,氣孔在法蘭本體外側沿法蘭本體周向間隔布置,所述的氣孔與第一環形槽一一對應且相對應的氣孔與第一環形槽相連通。
為簡單說明問題起見,以下對本實用新型所述的一種管式反應器的布氣法蘭均簡稱為本布氣法蘭。
本布氣法蘭的使用方法為:將本布氣法蘭安裝于管式反應器的管口處,然后將鍍膜氣體的管路分別接在氣孔上,然后根據鍍膜的要求在對應的通孔上安裝具有不同孔徑的穿孔的柱塞或者實心柱塞,然后控制與管式反應器配合的盲板將管式反應器管口密封,然后抽真空、加熱,最后通入鍍膜氣體完成鍍膜。
本布氣法蘭的優點在于:本布氣法蘭布氣均勻且可以通過更換不同孔徑的柱塞或者實心柱塞來調節進氣的大小、流向,從而應對不同種類的鍍膜需求。
為更好的達到本布氣法蘭的使用效果,其優選方案如下:
作為優選的,所述的法蘭本體內設有一個沿法蘭本體周向布置的環形水道,所述的環形水道內設有一個與環形水道相匹配的隔板,法蘭本體周向外側位置上對應環形水道中隔板的兩側處分別設有一個連通環形水道的通道。
兩個與環形水道連通的通道一個為進水口、另一個為出水口,這樣可以在法蘭本體內構成循環水路,對法蘭本體起到降溫的作用,保護法蘭本體不被加熱爐高溫損壞。
作為優選的,所述的法蘭本體至少一個軸向側面上設有沿法蘭本體周向布置的第二環形槽,所述的第二環形槽的開口處為收口結構。
當本布氣法蘭需要與其他法蘭配合時,在對應的軸向側面的第二環形槽內安裝與之相匹配的橡膠圈可以增加法蘭配合的氣密性,收口結構可以使橡膠圈安裝更加穩定,不易脫出。
作為優選的,所述的柱塞與通孔為螺紋配合。
柱塞與通孔螺紋配合,安裝和拆卸方便快捷,便于根據需要進行更換。
作為優選的,相鄰位置上的擋圈上的通孔位置上交錯布置。
相鄰位置上的擋圈上的通孔位置上交錯布置可以使得本布氣法蘭布氣更加均勻。
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學轉化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆,例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上,例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的





