[實用新型]一種軟X射線顯微成像探測器

有效

• 申請號: 201921358366.0
• 申請日: 2019-08-21
• 公開（公告）號: CN211086146U
• 公開（公告）日: 2020-07-24
• 發明（設計）人: 鄭睿;肖鵬;謝慶國;鐘勝;王衛東;唐江;褚倩;白翔
• 申請（專利權）人: 蘇州瑞派寧科技有限公司
• 主分類號: G01N23/04
• 分類號: G01N23/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種軟X射線顯微成像探測器，其特征在于，所述軟X射線顯微成像探測器包括：

腔體，所述腔體包括第一開口和第二開口，所述腔體內部設置有將自所述第一開口處入射的光反射至所述第二開口處的反射器件，所述光自所述第一開口向所述反射器件傳播的方向與自所述反射器件向所述第二開口傳播的方向之間具有第一夾角；

熒光轉換屏，所述熒光轉換屏設置于所述第一開口處；以及

光電轉換器件，所述光電轉換器件設置于所述第二開口處，所述光電轉換器件、所述熒光轉換屏與所述腔體形成密閉空間。

2.根據權利要求1所述的軟X射線顯微成像探測器，其特征在于，所述腔體包括相互連通的第一腔體與第二腔體，所述第一開口位于所述第一腔體上，所述第二開口位于所述第二腔體上。

3.根據權利要求2所述的軟X射線顯微成像探測器，其特征在于，所述第一腔體與所述第二腔體的延伸方向之間形成第二夾角，所述第二夾角與所述第一夾角的大小相同。

4.根據權利要求1所述的軟X射線顯微成像探測器，其特征在于，所述第一夾角的范圍介于30°-270°之間。

5.根據權利要求1所述的軟X射線顯微成像探測器，其特征在于，所述熒光轉換屏所在的平面與所述光的傳播方向垂直，所述熒光轉換屏的厚度介于10μm-100μm之間。

6.根據權利要求1所述的軟X射線顯微成像探測器，其特征在于，所述熒光轉換屏的表面上設置有濾片。

7.根據權利要求6所述的軟X射線顯微成像探測器，其特征在于，所述濾片的可見光透過率小于1％，所述濾片的軟X射線透過率不小于60％。

8.根據權利要求6所述的軟X射線顯微成像探測器，其特征在于，所述濾片的厚度介于60nm-500nm之間。

9.根據權利要求6所述的軟X射線顯微成像探測器，其特征在于，所述濾片為鋁、鈦、銅、鐵、金或者鎳。

10.根據權利要求1或者6所述的軟X射線顯微成像探測器，其特征在于，所述反射器件的表面設置有光反射率不小于98％的反射薄膜。

11.根據權利要求1所述的軟X射線顯微成像探測器，其特征在于，所述光電轉換器件為硅光電倍增器件。

12.根據權利要求1所述的軟X射線顯微成像探測器，其特征在于，所述腔體內還設置有第一聚焦透鏡，所述第一聚焦透鏡位于所述反射器件和所述光電轉換器件之間。

13.根據權利要求1所述的軟X射線顯微成像探測器，其特征在于，所述腔體內設置有聚焦透鏡組，所述聚焦透鏡組包括設置于所述反射器件和所述光電轉換器件之間且相互平行的第一聚焦透鏡和第二聚焦透鏡。

14.根據權利要求1所述的軟X射線顯微成像探測器，其特征在于，所述第一開口處設置有調節光圈，所述調節光圈內部中空且具有透光孔，所述透光孔與所述熒光轉換屏相對設置。

15.根據權利要求1所述的軟X射線顯微成像探測器，其特征在于，所述第二開口處設置有冷卻部件，所述冷卻部件向所述光電轉換器件熱傳遞。