[實用新型]掃描支撐結構和掃描組件有效
| 申請號： | 201921348321.5 | 申請日： | 2019-08-19 |
| 公開（公告）號： | CN209981196U | 公開（公告）日： | 2020-01-21 |
| 發明（設計）人： | 崔濤;曹小芳;張銀忠 | 申請（專利權）人： | 甬矽電子(寧波)股份有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/687 | 分類號： | H01L21/687;H01L21/67 |
| 代理公司： | 11463 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) | 代理人： | 范彥揚 |
| 地址： | 315400 浙江省寧*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 壓合 掃描底板 待掃描物件 掃描物件 支撐結構 掃描 半導體封裝技術 結果準確度 部件形成 磁力作用 掃描組件 磁力 翹曲度 減小 申請 配合 | ||
1.一種掃描支撐結構，其特征在于，包括：
掃描底板；
設置于所述掃描底板的第一壓合部件；
與所述第一壓合部件形成磁力配合的第二壓合部件；
其中，在所述掃描底板上放置有待掃描物件時，所述第二壓合部件位于所述待掃描物件遠離所述掃描底板的一側，用于在所述第一壓合部件的磁力作用下對所述待掃描物件進行壓合，以減小所述待掃描物件的翹曲度。
2.根據權利要求1所述的掃描支撐結構，其特征在于，所述第一壓合部件內嵌于所述掃描底板。
3.根據權利要求2所述的掃描支撐結構，其特征在于，所述第一壓合部件包括多個子部件，且各所述子部件等間隔內嵌于所述掃描底板。
4.根據權利要求3所述的掃描支撐結構，其特征在于，每一個所述子部件為吸鐵石；所述第二壓合部件為不銹鋼，與所述吸鐵石之間形成磁力配合。
5.根據權利要求1所述的掃描支撐結構，其特征在于，所述第二壓合部件為環狀結構，該環狀結構包括：
與所述第一壓合部件形成磁力配合的邊緣部分，該邊緣部分用于在所述第一壓合部件的磁力作用下對所述待掃描物件進行壓合；
由所述邊緣部分圍合形成的中空部分，在所述邊緣部分對所述待掃描物件進行壓合時，掃描光束穿過所述中空部分傳輸至所述待掃描物件。
6.根據權利要求5所述的掃描支撐結構，其特征在于，所述邊緣部分的形狀與所述待掃描物件的形狀相匹配；在所述邊緣部分對所述待掃描物件進行壓合時，所述待掃描物件的邊沿線在所述掃描底板上的投影位于所述邊緣部分在所述掃描底板上的投影內。
7.根據權利要求1-6任意一項所述的掃描支撐結構，其特征在于，還包括：
限位部件，該限位部件用于在所述第二壓合部件對所述待掃描物件進行壓合時，阻止所述第二壓合部件在平行于所述掃描底板的方向上運動。
8.根據權利要求7所述的掃描支撐結構，其特征在于，所述限位部件為多個，多個所述限位部件間隔設置，且在所述掃描底板上的投影不位于同一直線上，用于對所述第二壓合部件的不同部位進行限位。
9.根據權利要求7所述的掃描支撐結構，其特征在于，所述限位部件為限位針，所述第二壓合部件上還設置有與所述限位針配合的限位孔；
其中，所述限位針的一端固定于所述掃描底板、另一端沿靠近所述第二壓合部件的方向延伸至所述限位孔內或穿過所述限位孔。
10.一種掃描組件，其特征在于，包括掃描器件和權利要求1-9任意一項所述的掃描支撐結構，其中，所述掃描器件用于對放置于所述掃描支撐結構上的待掃描物件進行掃描。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
